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钝化边缘技术
引言：高效率、低成本是太阳能电池研究最重要的两个方向。对于晶体硅太阳能电池来说，随着晶体硅制造技术的提升，基体硅片的体载流子寿命不断提高，已经不再是制约电池效率提升的关键因素。而电池表面的钝化对转
。这就为太阳能电池表面钝化技术提出了挑战，为了在硅片薄化的过程中仍然保持电池的高转化效率，对晶体硅太阳电池表面钝化技术的研究是必不可少的。因此，无论是提高太阳能电池的转换效率，还是降低太阳能电池的
1.Perc技术显著提升光伏电池转换效率
PERC(PassivatedEmitterandRearCell)电池，全称为发射极和背面钝化电池，是从常规铝背场电池(BSF)结构自然衍生而来。常规
在此不作赘述。
下面介绍一下背面钝化工艺、背面开槽工艺的主流设备和技术:
1)背面钝化设备:背面钝化设备是实现PERC工艺的主设备，其技术方案主要有PECVD(等离子体增强化学气相沉积
PECVD目的
在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。
镀膜原理
光照射在硅片表面时，反射会使光损失约三分之一
:
从裸露的硅表面和从覆盖有折射率为1.9 和2.3 的减反射膜的硅表面反射
的正常入射光的百分比与波长的关系：
2、氮化硅膜的钝化效果
PECVD 沉积SixNy 薄膜有一定
全力以赴则是必需。通威集团董事局主席刘汉元曾指出：在很长时间里，我们很难理解为何一个伟大的公司可以快速发展，而一个不太好的公司会被迅速边缘化，后来我们从数学的角度找到了答案，每天进步1%，一年以后就是
，通威太阳能才能在不断地提升中，达成自我超越，步步靠近极致。在产能利用率在100%120%的情况下，通威太阳能电池片转换效率、A级品率、封装损失率、碎片率等技术指标始终保持行业领先水平。2017年
生产成本。这些优势在生产晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池中得到了充分的体现。 在晶硅太阳能电池生产中，激光技术被用于切割硅片和边缘绝缘。 电池边缘的掺杂是为了防止前电极和背电极的短路。激光技术越来越多
的细栅格，并对钝化膜中的氮化硅膜层及激光开孔部分做一些优化。设备方面，需提高背面电极栅格印刷设备及激光设备的精度。发电增益方面，p-PERC双面因子仅60%-80%，略低于其他技术路线，主要是因为铝栅格
的边缘区域制备成主栅，然后使前一片电池的前表面边缘与下一片电池的背表面边缘互联。这样的设计使得电池片以更加紧密的方式互相连接，电池间缝隙降到最低，边缘甚至稍微重叠。叠片组件技术采用整体无主栅设计，通过
回去。 PERC电池采用PERC技术需在常规背电场(BSF)技术基础上增加背面钝化解决方案。在具体实施中，需要沉积一层背面钝化膜，然后在这层膜上开槽实现背面接触。通过在电池背部附上介质钝化层，可减少
PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)，即钝化发射极和背面电池技术，最早在1983年由澳大利亚科学家Martin Green提出，目前正在成为太阳电池新一代的
常规技术。PERC近年来效率记录不断被刷新，将成为未来三年内最具性价比的技术。
(单面PERC电池结构)
PERC技术通过在电池的后侧上添加一个电介质钝化层来提高转换效率。标准电池结构中更好的
、水汽、氧化层，而且硅片表面要求具有原子级的平整度，硅片边缘的悬挂键以结氢终止。目前，由于硅片清洗技术的缺陷，大规模集成电路中因为硅材的洁净度不够而产生问题甚至失效的比例达到50%，因此优化硅片的清洗
防止金属离子的再次附着。
按照SPM、DHF、SC-1、SC-2顺序的RCA清洗技术基本上满足了大部分硅片洁净度的要求，而且使硅片表面钝化。TMPan等人在RCA清洗的SC-1过程中加入了羟化四甲胺
以下。达到金属铝背层红外辐射光仅60%-70%能反射回去。 PERC电池采用PERC技术需在常规背电场(BSF)技术基础上增加背面钝化解决方案。在具体实施中，需要沉积一层背面钝化膜，然后在这层膜上开槽
