背膜

，量产效率也不断攀升，这足以证明PERC技术拥有强大的生命力和广阔的应用前景。 PERC电池只需在传统电池工艺基础上增加Al2O3/SiNx背镀膜和激光开膜两步工艺，与其它高效电池及技术相比，PERC
PERC电池良品率达到97%以上，已经接近常规电池。 据记者了解，制造装备在PERC电池技术的发展过程中扮演着至关重要角色，目前，自动化成为PERC新增产线的标配，PERC关键设备背钝化技术路线明晰

，这可能是后续工序的激光能量偏低，对开膜部分的Al2O3薄膜清除不彻底，影响了铝浆与硅片之间的欧姆接触而导致。 3 烧结曲线对电池片性能的影响 3.1烧结温度对铝硅合金层厚度的影响 为了研究烧结温度
温度，再次进行烧结与检测，如图2所示，铝硅合金层厚度为3.55～4.72m，相对于常规烧结曲线，铝硅合金层厚度明显增加。铝硅合金层厚度将直接影响铝背场对载流子的收集效率，从而影响PERC电池的电

优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC设计。PERC概念的核心就在于为常规光伏电池增加全覆盖的背面钝化膜
，从而降低少数载流子浓度。 背钝化材料 在钝化膜材料的选择上。氧化铝(Al2O3)由于具备较高的电荷密度，可以对P型表面提供良好的钝化，目前被广泛应用于PERC电池量产的背面钝化材料。除氧化铝外

足以证明PERC技术拥有强大的生命力和广阔的应用前景。 PERC电池只需在传统电池工艺基础上增加Al2O3/SiNx背镀膜和激光开膜两步工艺，与其它高效电池及技术相比，PERC电池技术难度较小，设备
，已经接近常规电池。 据记者了解，制造装备在PERC电池技术的发展过程中扮演着至关重要角色，目前，自动化成为PERC新增产线的标配，PERC关键设备背钝化技术路线明晰，量产设备及工艺均逐渐

Ag 元素，而焊带完好部分未发现，表明焊带金属的腐蚀与电极上的银有关。 对结构为KPK 3 层结构的背板( 双面为含氟材料，中间为PET层) 进行老化分析，如图11 所示。图中，湿热试验组件背板内层
氟膜与EVA 紧连在一起，与背板其他两层完全脱离，这可能与EVA和背板中水汽含量有关;湿冻试验组件则是3 层均分离，且中间PET 层脆化相当严重( 图12)，表明湿冻试验对背板材料的考验非常大

太阳电池对杂质的容忍度要明显大于P型硅电池。但从P型电池工艺的丝网印刷来看，N型电池在转换效率上一些关键工艺还有待解决，而且制造成本也没有优势。 2)优化减反膜。 Kang研究发现，虽然采用沉积
SiCxNy减反膜比SiNx沉积减反膜的电池初始效率要低一些，但在效率的绝对光衰减方面，采用沉积SiCxNy要比沉积SiNx的电池低0.3%，衰减后两者效率相当。其原因是在SiCxNy薄膜中含有较多的碳

载流子不能被电极有效收集，导致该波长附近的电池量子效率比较低。与此同时，波长较长的光是被电池的主体吸收的，这一部分光产生的光生载流子需要迁移到空间电荷区才能被电极收集，在迁移过程以及背表面都会对载流子
黑斑样片和正常样片同是截取于19.37%的黑斑电池片，其活性层及减反膜的质量相同，因而可以断定黑斑缺陷是由电池生产过程环节所致。综合上述结果可知，黑斑缺陷的产生与生产电池过程中的表面残留酸液所含杂质污染

，开路电压也将因为短路电流密度的增大和二极管背电极复合电流减小而有所提高。通过在背部使用氧化物钝化层和局部扩散电极，结合在前表面采用倒金字塔结构和减反射膜，赵先生和他的合作者在1998年报告了在使用P型
受益于氧化铝钝化硅表面技术的革新，最近钝化发射极和背表面电池(PERC: Passivated Emitter and Rear Cell)概念在硅光伏工业领域显示出了复苏迹象，并推动了P型太阳能

，中来N型双面TOPCon电池背面采用多晶硅隧穿电极接触结构，正反两面均由覆盖SiNx减反膜，金属化由丝网印刷完成，由于两面栅线结构都是常规的H型，因此TOPCon电池不仅正面可以吸收光，其背表面也能从
激光掺杂等，简化了IBC电池背表面p+/n+界面处gap的制备工艺流程，开发出行业内领先的低成本;其次，离子注入的最大优点是可以精确地控制掺杂浓度，从而避免了炉管扩散中存在的扩散死层，通过掩膜可以形成