纳米金字塔
。长期从事微纳米压印技术研究的公司总经理朱学林，便是带领这家科技型企业走向产业金字塔的领军人。 从事纳米技术研究十余年 作为中国科技大学硕博连读的高材生，朱学林毕业后的10年一直在学校从事研究工作
。长期从事微纳米压印技术研究的公司总经理朱学林，便是带领这家科技型企业走向产业金字塔的领军人。从事纳米技术研究十余年作为中国科技大学硕博连读的高材生，朱学林毕业后的10年一直在学校从事研究工作，主攻方向为
电阻损耗、减小载流子复合几个方面着手。
(1)减小入射光反射率：又可分成表面绒面织构化和减反射膜两个方面。表面绒面织构化最典型的应用就是碱制绒制备单晶硅电池的金字塔绒面结构。采用选择性腐蚀NaOH溶液
，利用腐蚀液对各个晶面腐蚀速率的不同，形成非均匀腐蚀，在硅表面形成类似金字塔形状的绒面，如图2A。制得绒面的反射率可达到10%左右。依靠表面金字塔形的绒面结构，对光进行多次反射，不仅减少了反射损失
载流子复合几个方面着手。
(1)减小入射光反射率：又可分成表面绒面织构化和减反射膜两个方面。表面绒面织构化最典型的应用就是碱制绒制备单晶硅电池的金字塔绒面结构。采用选择性腐蚀NaOH溶液，利用腐蚀液
对各个晶面腐蚀速率的不同，形成非均匀腐蚀，在硅表面形成类似金字塔形状的绒面，如图2A。制得绒面的反射率可达到10%左右。依靠表面金字塔形的绒面结构，对光进行多次反射，不仅减少了反射损失，而且改变了光在
方面着手。（1）减小入射光反射率：又可分成表面绒面织构化和减反射膜两个方面。表面绒面织构化最典型的应用就是碱制绒制备单晶硅电池的金字塔绒面结构。采用选择性腐蚀NaOH溶液，利用腐蚀液对各个晶面腐蚀速率
的不同，形成非均匀腐蚀，在硅表面形成类似金字塔形状的绒面，如图2A。制得绒面的反射率可达到10%左右。依靠表面金字塔形的绒面结构，对光进行多次反射，不仅减少了反射损失，而且改变了光在硅中的前进方向
出随机的纳米级金字塔，转化效率高达17.5%。采用反应离子刻蚀和等离子体浸没离子注入方法也可以制作黑硅。Kumaravelu等人发现离子刻蚀会在纳米结构上产生缺陷且纳米结构会增加硅片的表面积，这些都会
规模化生产的湿法腐蚀（酸或碱性腐蚀）技术，团队在20m厚度薄膜硅衬底上按照设计尺寸成功制备出纳米柱、纳米金字塔（或倒金字塔）、纳米铅笔等特征纳米光子晶体绒面结构，并获得了全波段接近光学吸收极限的陷光效果
影响黑硅表面的光学特性，然后在黑硅发射极表面原子层沉积Al2O3，起到优异的表面钝化效果。 1.引言黑硅表面有纳米级小山峰，反射率很低。通过优化反应离子刻蚀（RIE）工艺的参数来制作黑硅，由于其在很宽
制备太阳能电池的工艺流程图。制备了正面只有Al2O3的黑硅太阳能电池，同时制备了正面具有倒金字塔结构和Al2O3/SiNx钝化层的电池作对照组。对照组电池和黑硅太阳能电池唯一的不同是正面的倒金字塔结构和
索比光伏网讯:近期，中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所微纳技术与器件研究室研究员叶长辉课题组在柔性单晶硅基微纳结构太阳电池研究方面取得新进展，相关结果以封面论文形式发表在《纳米研究
硅金字塔微纳结构/PEDOT:PSS太阳电池。实验测试表明，经不同次数的机械弯折后（弯折角为800），该电池器件开路电压、短路电流以及填充因子等光伏特性均呈现优异的稳定性（变化率低于10%）。为柔性
表面形成的纳米级小山峰的平均高度为150-600nm。随着小山峰高度的增加，在波长范围为300nm-1100nm的区域内其反射率会降低，内量子效率（IQE）也会随之降低。几个条件中最优的绒面小山
定和有效的减反射方法。在工业化生产中，单晶硅利用各向异性腐蚀在碱液中制绒，硅片表面形成金字塔状结构可以有效地降低硅片表面的反射率。但是多晶硅晶向不规则，各向同性，不能在碱液中制绒，而是在酸溶液中制绒
