等离子体

索比光伏网讯:9月5日，在北京科技会堂召开的第13届中国光伏大会上，中科院新型薄膜太阳电池重点实验室主任戴松元研究员获中国光伏成就奖。这是该奖项首次颁发给新型太阳电池研究的科学家。戴松元研究员两次主持国家973项目，并担任首席科学家，与其团队在十一五期间完成染料敏化太阳电池实验室生产线的建设，并建立世界首座示范系统，成功完成了0.5 MW染料敏化太阳电池中试生产线的建设，实现了具有自主知识产权

、高产能全自动四管扩散炉装备和高产能全自动四管等离子体增强化学气相淀积（PECVD）装备，并均实现技术成果转化。此外，中心还建有一条年产6000台套大型装备装配流水线。中心与多家单位联合申报的863计划

松元 研究院、博导。现任中科院等离子体所所长助理和研究室主任、中科院新型薄膜太阳电池重点实验室主任，中科院能源研究委员会委员，国内多少重点实验室和工程中心学术委员会委员，安徽省新能源协会和

，目前包括低温等离子体改性技术、辐照改性技术、真空等离子体化学接枝技术在内的材料表面改性技术已较为成熟。因此，将氟碳涂料、PET表面改性技术、氟涂层表面改性技术等应用于太阳电池背膜的开发，从而实现不使

、太阳能发电设备配套开发变流控制装置；为电网稳定运行开发动态无功补偿装置；为节能环保工程提供系统化技术服务等。现主要产品为：高压大功率变频器、风力发电机电力变流器、等离子体炬专用电源等

(a-Si太阳能电池)是单质硅的一种形态，一般采用等离子增强型化学气相沉积 (PECVD)方法使高纯硅烷等气体分解沉积而成的。非晶硅太阳能电池是在玻璃衬底上沉积透明导电膜，然后依次用等离子体反应沉积

依次用等离子体反应沉积p型、i型、n型三层a-Si，接着再蒸镀金属电极铝(Al)。光从玻璃面入射，电池电流从透明导电膜和铝引出。非晶硅薄膜太阳能电池是将非晶硅以薄膜的形式沉积到导电玻璃或不锈钢等载体上

，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备，采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机，带二次加料装置、采用下排气结构的高效低能耗全自动硅单晶炉，6～8英寸区熔

索比光伏网讯:运用纳米技术可以极大地提高光伏的光电转换效率，芬兰阿尔托大学的研究者通过ALD技术与纳米技术研制的黑色电池是一个不错的例子。纳米结构的制备是通过等离子体刻蚀完成的，这可以极大地削弱