等离子体

创建超灵敏光电探测器或高效太阳电池。实验中使用的二维原子晶体材料包括二硫化钼(MoS2)，二硫化钨(WS2)和二硒化钨(WSe2)，厚度在5nm到50nm，其中使用二硫化钼和表面等离子体激元(金纳米

降低光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入

步伐。 今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备，采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机，带二次加料装置、采用下排气结构的高效低能耗全自动硅单晶

子专用设备工业协会常务副秘书长 金存忠 今年，制备高转换效率纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备、采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机、带二次

降低光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入

设备制造商针对降低光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体

光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备、采用

太阳能级硅的关键的技术进展也是由企业为主导进行的。日本的JFE(川崎制铁)的试验从2001年就开始了，他们倾向于使用等离子体束和电子束对磷硼进行去除，并取得了良好的效果。但是，他们的工艺成本一直高居不下
日本人所用的等离子体束和电子束，然后再用酸洗(湿法冶金)加上在定向凝固的方法得到太阳能级的硅。他们得到了6N的纯度，并在2008年建成了第一条2000吨年产能的生产线。另一个3000吨的生产线原计划

已定。2月中旬，一种薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)在上海张江理想能源设备公司正式下线。这种设备能大幅降低硅薄膜电池生产成本，打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外

开发原子层沉积设备的研制，推进该项目在嘉兴市的产业化。同时，该中心推出了一系列拥有自主知识产权和创新的原子层沉积设备产品，包括热型设备、等离子体增强型设备和适于光伏产业应用的批量型设备，实现了国产原子