硒化法

电池，开发柔性硅基薄膜太阳电池卷对卷连续生产工艺等。及时跟进铜铟镓硒和有机薄膜电池的产业化进程，开发并掌握低成本非真空铜铟镓锡薄膜电池制备技术，磁控溅射电池制备技术，真空共蒸法电池制备技术，规模化制造关键

、电池组件、应用系统5个环节。目前世界太阳能光伏技术包括晶硅、非晶硅薄膜、铜铟镓硒（CIGS）等多种选择，但从技术成熟和成本角度来看，晶硅太阳能电池技术占据了目前90%以上的市场份额。所以目前国内领先
新兴产业中快速腾飞？抓住了机遇。2004年，德国出台的《上网电价法》强力推动了10万屋顶计划顺利进展，也带动了太阳能电池市场需求爆发式增长并不断持续攀升。2001年创立尚德的归国学者施正荣抓住了这个机会

的进步。薄膜太阳电池主要涉及非晶硅(a-Si：H)、铜铟镓硒(Cu(In、Ga)Se2，CIGS)和碲化镉(CdTe)光伏电池和集成组件，在本文中主要讨论的是目前商业化最成熟的非晶硅太阳电池。薄膜
降低成本方面比晶体硅(单晶或多晶)太阳电池具有更大的优势，一是实现薄膜化后，可极大地节省昂贵的半导体材料；二是薄膜电池的材料制备和电池同时形成，因此节省了许多工序；三是薄膜太阳电池采用低温工艺技术

。 现阶段CIGS薄膜太阳能电池产业化的真空制备方法主要有两种，即共蒸镀法和溅镀硒化法，但该两种方法各有其难点，共蒸镀法的主要问题在于要在一个真空腔体内安装三个蒸发温度都超过1000℃的金属线性蒸发

，才使得国内对于CIGS薄膜太阳能电池的研究达到一定国际水平。现阶段CIGS薄膜太阳能电池产业化的真空制备方法主要有两种，即共蒸发法和溅射后硒化法，但该两种方法各有其难点，共蒸法的主要问题在于要在一个

领域的后续能源技术项目支持，才使得国内对于CIGS薄膜太阳能电池的研究达到一定国际水平。现阶段CIGS薄膜太阳能电池产业化的真空制备方法主要有两种，即共蒸发法和溅射后硒化法，但该两种方法各有其难点，共蒸法

薄膜太阳能电池，量产化成功的案例是日本的SolarFrontier(前身是Showa Shell)，技术和设备是自主开发的。其CIGS薄膜的技术路线是溅射加后硒化处理，核心就是后硒化处理。由于硒化过程采用

功的案例是日本的SolarFrontier(前身是Showa Shell)，技术和设备是自主开发的。其CIGS薄膜的技术路线是溅射加后硒化处理，核心就是后硒化处理。由于硒化过程采用有毒气体，硒化设备的

。经过攻关，确立了以磁控溅射为主，硒蒸镀沉积为辅的技术工艺，成功解决了制备CIGS一系列关键技术和物理问题，并创立了三元叠层硒化法与预制层后处理硒化法制备CIGS薄膜的方法；系统优化了CIGS薄膜硒化与

为辅的技术工艺，成功解决了制备CIGS一系列关键技术和物理问题，并创立了三元叠层硒化法与预制层后处理硒化法制备CIGS薄膜的方法；系统优化了CIGS薄膜硒化与高温重结晶热处理工艺。长达一年的中试实验