硅薄膜太阳能

(Heterojunction with Intrinsic Thin-Layer) 是利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，是结合了薄膜太阳能技术的单晶硅电池。PERC(Passivated

提升7、1、20、6pct。 头部企业集中发布扩产规划，绑定设备厂商将率先收益。据北极星太阳能光伏网统计， 2020年前三季度已有49家企业宣布扩产，其中硅片、电池、组件分别为185、250
，只有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、金属化四个步骤。但HIT难度 系数更高，进口HIT设备投资约为8-10亿元/GW，若实现国产化有望降低至5元/GW以下。 其中核心环节在于非晶硅薄膜沉积

、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备四个步骤，主要生产设备有清洗制绒机、PECVD、RPD/PVD以及丝网印刷机。目前，异质结产线设备较高，占据了异质结电池产品成本很大的比重，根据预测，异质结核心设备
仅有的几家掌握高效异质结太阳能电池技术的企业之一。 在今年的SNEC光伏展会上，钧石能源带来了具有自主知识产权的GW级异质结量产设备，该设备为最低运营成本而设计。 钧石能源GW级异质结电池生产线设计

本偏高。 第二代太阳能光伏电池，主要是非晶硅薄膜太阳能电池和晶硅薄膜太阳能电池。其中非晶硅的砷化镓太阳能电池效率目前可达30%左右，但是价格昂贵，综合性价比并不高，因此多用于对性能要求很高的太空飞行

，帮助读者正确把握和判断异质结电池成本降低前景。 本文将分析用于沉积非晶硅薄膜和TCO透明导电层的沉积设备企业2020年最新进展。设备成本决定异质结产线投资额，而沉积设备占据设备成本的主要份额
领先性。 理想万里晖 2019年，理想万里晖击败欧美设备公司，研制的国内首台高效100MW高效异质结太阳能电池用PECVD装备中标中威异质结太阳能项目。 同年，客户使用万里晖PECVD设备制备的

1. HIT 电池性能优异，商业化节奏提速1.1 HIT：一种非晶硅与晶硅材料相结合的高效电池技术 HIT 电池是以晶硅太阳能电池为衬底，以非晶硅薄膜为钝化层的电池结构。HIT(异质结电池
，Heterojunction with Intrinsic Thin layer)是一种在 P 型氢化非晶硅和 n 型氢化非晶硅与 n 型硅衬底之间增加一层非掺杂(本征)氢化非晶硅薄膜的电池结构。标准

实现了小批量生产，但规模量产仍需要一定时间。钧石能源起步较早，作为设备供应商有研发和量产硅基薄膜太阳能电池生产线的经验，于 2010 年开始研发高效单晶 异质结电池，在 2016 年建成 100MW
和掺杂非晶硅薄膜环节，理想万里晖提供的 PECVD 设备在备受好评，迈为股份也不断精进其 PERCVD 设备;在沉积 TCO 薄膜环节， 钧石能源的 PVD 设备已经入大规模生产应用，捷佳伟创在获得

硅基薄膜工艺形成p-n结发射区，制程中的最高温度就是非晶硅薄膜的形成温度(200℃)，避免了传统晶体硅电池形成p-n结的高温(950℃)。可以降低能耗、减少对硅片的热损 伤。 ③获得较高的转换效率
起跑线，新进入者希望在这领域实现弯道超车。 HJT电池设备市场空间大，设备国产化加速推进 HJT电池设备投资成本高。HJT的投资成本较高，根据东方日升2.5GW高效太阳能电池的项目投资来看，其设备

中国首富。 1963年出生的施正荣是江苏扬中市人，在国内读完研究生后，于1988年去澳大利亚留学，师从世界太阳能电池领域的权威、被誉为太阳能之父的马丁格林，3年后以优秀的多晶硅薄膜太阳电池技术获
Solibro、美国的MiaSol等四次海外技术并购整合，投资超过500亿人民币，进军薄膜太阳能行业。这成为他辉煌的起点。 然而，很快光伏行业遭遇了双反调查、行业不景气，再加上自身扩张太快等原因，几年之后，汉能

，现存企业将围绕高效产能规模展开更加激烈的竞 争，故而有资金实力的企业有望加速扩产，后来者由于历史产能包袱较少， 有望凭借布局先进产能实现快速追赶，太阳能电池片环节有望迎来扩产浪潮。 我们预计
2018 年，太阳能安装 成本相比 2010 年已实现大幅下降。据 IRENA 统计，自 2014 年全球光伏加权发电成本已落入化石燃料发电成本区间 内，预计到 2020 年光伏发电成本将进一步降至