硅片清洗技术

索比光伏网讯:瑞晶太阳能工艺技术部 习冬勇RENA Intex前清洗工序的目的去除硅片表面的机械损伤层（来自硅棒切割的物理损伤）清除表面油污（利用HF）和金属杂质（利用HCl）形成起伏不平的绒面
Rinse：碱洗槽 。 所用溶液为KOH，作用：1) 对形成的多孔硅表面进行清洗；2) 中和前道刻蚀后残留在硅片表面的酸液。 Acidic Rinse：酸洗槽 。 所用溶液为HCl+HF，作用：1) 中和

。走进硅片制造二部生产车间，生产现场干净整洁，员工们井然有序地工作着。有的在操作设备切割单晶硅棒，有的在更换新砂浆，有的把脱好胶的硅片插入栏内待清洗，有的在监测设备的运行情况。今年春节不回家，咱窝在车

已在国内生产线中占据主导地位。其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。多晶硅铸锭炉、多线切割机等设备制造技术取得重大进步
光伏产能和60%的全球市场份额。在2011年TOP10组件制造商中，中国大陆占据7家。也有舆论诟病光伏为又一个毫无技术含量的劳动密集型制造业，绿色输海外，污染留中国，也有人称政府不应该拿纳税人的钱去维持

光伏产能和60%的全球市场份额。在2011年TOP10组件制造商中，中国大陆占据7家。 也有舆论诟病光伏为又一个毫无技术含量的劳动密集型制造业，绿色输海外，污染留中国，也有人称政府不应该拿
成品来看，在短时间内就能实现能源的回收，随后输出源源不断的绿色能源。客观的讲，从整个太阳能产业链来看，太阳能是没有污染、低耗能的。只是上游生产环节是有污染和非低碳的但是可控的。随着多晶硅技术进步，低能耗

期间重点推进的56个重大工业项目之一。经过4年多的建设，已实现了从硅料清洗、单晶拉棒、多晶铸锭、硅片切割、高效电池生产到组件封装、系统集成、光伏电站建设的垂直一体化产业链全覆盖，具备年产600MW
酷暑，克服了种种意想不到的困难，严格按照合同规定的时间节点稳步推进各项工作，项目建设捷报频传。特别是进入试运行阶段以来，工程技术人员和生产运行人员团结协作、密切配合，依据太阳能电池方阵启动方案要求

工艺及分析工具箱如何能用来有助于基于晶硅的光伏器件的进一步开发。本文介绍了在IMEC正在跟踪研究的一些方法，把微电子和微系统范围广泛的纳米技术工具箱用于晶硅太阳能电池。公认的晶硅太阳能电池路线图 现今的
主流制造方法是在约180m厚的晶体Si硅片上加工太阳能电池，在正面有Ag金属栅，背面完全覆盖Al-BSF。由于金属化（浆料、丝网）方面的进步，工业生产中似乎能达到18.5-19%的效率。下一步，我们

、光电建筑一体化技术、太阳能光伏工程过程控制、工程管理及软件编制系统。 　◆光伏生产设备： 　硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、其它相关设备； 　硅片晶圆生产设备：全套生产线
、光伏生产商/工程商/代理商、电力能源机构代表、资本投资人、房地产商、军事、海事、国防、通信、交通、农业、电厂（场）、企业管理者、科研技术人员、专利持有者及媒体等6万多名专业观众的支持，其中上届展会到会观众

、切割、清洗等环节操作流程。针对花斑片、线痕片、亮边等突出质量问题每周召开质量研讨会，不断进行重点技术攻关。在清洗车间，增加了酸洗和预超声清洗工序，有效去除了硅片表面金属离子，使硅片瑕疵率比年初至少降低

酸洗和预超声清洗工序，有效去除了硅片表面金属离子，使硅片瑕疵率比年初至少降低了1.5个百分点。他们还对减少线痕片作了进一步技术攻关，通过细化车间管理，加强员工个人考核，将其工资与断线事故挂钩，严格控制耗材质量，大大降低了车间断线事故的发生。目前，该部硅片线痕率较年初下降了5个百分点以上。

车间，增加了酸洗和预超声清洗工序，有效去除了硅片表面金属离子，使硅片瑕疵率比年初至少降低了1.5个百分点。他们还对减少线痕片作了进一步技术攻关，通过细化车间管理，加强员工个人考核，将其工资与断线事故挂钩，严格控制耗材质量，大大降低了车间断线事故的发生。目前，该部硅片线痕率较年初下降了5个百分点以上。