真空泵维修

%的能耗来自于真空泵和尾气处理系统，Edwards一直都在提高其性能以实现成本的降低。”Edwards亚太区总裁Neil Lavender-Jones说，“Edwards与业界同行的不同之处在于，我们
并非提供整条生产线，而是专注于为制造设备提供配套的干式真空泵、分子泵和尾气处理系统等。” 选择最佳成本和能耗的真空泵需要充分了解尾气处理和工艺设备对于真空的要求，以及真空系统的分布状况。太阳能和最新的

多达20%的能耗来自于真空泵和尾气处理系统，Edwards一直都在提高其性能以实现成本的降低。”Edwards亚太区总裁Neil Lavender-Jones说，“Edwards与业界同行的不同之处
在于，我们并非提供整条生产线，而是专注于为制造设备提供配套的干式真空泵、分子泵和尾气处理系统等。”选择最佳成本和能耗的真空泵需要充分了解尾气处理和工艺设备对于真空的要求，以及真空系统的分布状况。太阳能和

来说，真空泵的性能往往会决定工艺走得能有多远。 “随着芯片制造几十年的发展，它已经由新兴产业慢慢地向成熟产业过渡。目前的很多新兴产业，比如光伏、LCD、OLED等，都或多或少地采用了半导体
制造工艺，如刻蚀、PECVD、LPCVD、PVD、MOCVD以及清洗等。”Edwards中国分公司总经理许坚说。“制造工艺的复杂度不断提升，对包括真空泵在内的设备硬件提出了更苛刻的要求

提升，可全面满足国内最新工艺的需求。新型ICP刻蚀设备，采用无油真空泵、自动匹配射频电源，工艺时间更短，去边效果更好，维护成本更低，单台产能即可满足30MW生产线的需要。而装片量达196片/管
，降低单位生产成本。二是注重技术服务，拥有一支沉浸产业多年的经验丰富的研发和技术服务队伍，在华北、华东、西南等地有7个零部件仓库和技术服务中心，可即时为客户提供便捷的技术服务，降低客户的维修等待时间

、环保处理、扩散成本等技术性能方面又有全面提升，可全面满足国内最新工艺的需求。新型ICP刻蚀设备，采用无油真空泵、自动匹配射频电源，工艺时间更短，去边效果更好，维护成本更低，单台产能即可满足30MW生产线
便捷的技术服务，降低客户的维修等待时间，提高设备有效使用率。三是和国际一流企业有紧密的合作关系，设备技术能始终同步于工艺技术的发展，所提供的装备均能提供相应的基本配套工艺，提升客户技术起点，节约客户流片