真空干燥
)
四、影响镀膜效果的主要参数
影响镀膜效果主要的机器本身工艺参数有：
(1).镀膜工艺时候真空压力
(2).镀膜工艺温度
(3).镀膜工艺
气体流量比
(4).镀膜工艺
总
).石墨舟本身的使用状况
(2).硅片表面形貌的差异
管式PECVD 镀膜的各工艺参数具体控制范围
1.镀膜工艺时候真空压力
真空压力对镀膜速率而言很重要，是成膜较为关键的因素，目前在尚德镀膜
优越，特别是采暖季节，阴雨天少，天气干燥，使被动式太阳房得以广泛的应用。被动式太阳房的核心部件是房屋南侧的集热墙，也叫特隆布(Trombe)墙，由透光玻璃、集热板、集热墙体(砖墙)组成。在集热墙体上
可分为平板型集热器和真空管集热器两大类。目前，平板型集热器和真空管集热器都已广泛应用于太阳能热水系统;真空管集热器已开始用于建筑的太阳能采暖和太阳能空调系统。
2.1太阳能热水系统
太阳能热
、热传及蒸汽发生系统、储热岛、发电岛四大部分组成。
据悉，德令哈项目的太阳岛集热器由25万片共62万平方米的反光镜、11万米长的真空集热管、跟踪驱动装置等组成，场面浩大、蔚为壮观。它们就像向日葵一样
相比，每年可节约标准煤6万吨，减少二氧化碳等气体排放10万吨，相当于植树造林4200亩。
王志刚表示，项目位于3000米海拔的青藏高原上，冬季干燥寒冷、夏季蚊虫肆虐，常年空气中的含氧量只有我国平原地
溶剂，硅片表面的杂质粒子与溶剂发生化学反应生成可溶性物质、气体或直接脱落。为了提高杂质的清除效果，可以利用兆声、加热、真空等技术手段，最后利用超纯水清洗硅片表面，获取满足洁净度要求的硅片。
干法清洗指
原子级光滑程度的氧化膜，有效隔离了杂质的再吸附。
臭氧微泡清洗系统包括加载、清洗、漂洗、干燥四步。首先将硅片至于密闭混合舱，注满水或化学药剂，然后臭氧通过喷嘴通入混合腔进行清洗。于38℃环境中，通入
模组。干燥全真空流程对洁净车间的要求不那么严格。为生产人员考虑，避免在制造流程中使用镉是可取的，也更易于以低成本生产CIGS太阳能电池。Midsummer首席执行官Sven Lindstrm说：Midsummer的目标是我们的技术应在柔性轻量太阳能板市场处于领先地位，公司
真空和加热，尤其是当硅料熔化后，基本上真空熔炼过程就不可逆转，因此，进行炉前检查就是特别必要的，甚至比开炉后的操作还要重要。炉前检查的目的是发现炉内存在的安全隐患和事故苗头，并在开始工艺前将之解决。炉前
现象，以及炉壁是否清洁。此外，要检查炉内是否有外物，如工具、鞋套或者擦布等。炉壁的清洁十分重要，如果炉壁有脏物，不仅影响热效率，更重要的是，由于这些粉尘脏物容易吸附大气以及水气，这会给抽真空带来很大的
的湿重和次栅线的宽度。第二道道湿重过大，一方面浪费浆料，同时还会导致其不能在进高温区之前充分干燥，甚至不能将其中的所有有机物赶出从而不能将整个铝浆层转变为金属铝，另外湿重过大可能造成烧结后电池片弓片
片和非连续的粘片。对于连续的粘片，往往是由于印刷参数设置不合理导致的，主要有snap-off设置太低，或者网版的PARK位置太低，印刷压力过大等原因，有时台面真空不足也会造成此类问题，也有些情况下如果
表面复合速率，减小暗电流，提升开路电压，提高光电转换效率。H能与硅中的缺陷或杂质进行反应,从而将禁带中的能带转入价带或者导带。
在真空环境下及480摄氏度的温度下，通过对石墨舟的导电，使硅片的表面
道道湿重如果过大，既浪费浆料，同时还可能导致不能在进高温区之前充分干燥，甚至不能将其中的所有有机物赶出从而不能将整个铝浆层转变为金属铝，另外湿重过大可能造成烧结后电池片弓片。湿重过小，所有铝浆均会
杂质进行反应,从而将禁带中的能带转入价带或者导带。在真空环境下及480摄氏度的温度下，通过对石墨舟的导电，使硅片的表面镀上一层SixNy薄膜。五、丝网印刷通俗的说就是为太阳能电池收集电流并制造电极，第一
道背面银电极，第二道背面铝背场的印刷和烘干；第三道正面银电极的印刷，主要监控印刷后的湿重和次栅线的宽度。第二道道湿重如果过大，既浪费浆料，同时还可能导致不能在进高温区之前充分干燥，甚至不能将其中的所有
编者按：是指：从事太阳光热、光电设备和建筑的安装、建造、调 试、维修及管理的人员。从事的工作主要包括：（1）安装调试太阳热水器、太阳热水工程、太阳灶、太阳干燥装置及配套设施等。45亿年前，太阳能
太阳能真空集热管。1979年第二次美国石油危机，太阳能贸易协会在华盛顿特区成立。1983年，美国威斯康星洲颁布太阳能利用的有关法律以保护城市花园充足的光照，随后亚利桑那州和密歇根州也通过了类似的法律
