多年来专注于半导体及光电太阳能领域的鑫邦国际科技,提供日商Ferrotec太阳能单晶炉和多晶炉,以及线切割机、水平炉管、湿蚀刻机
阅读提示 单晶炉是直拉法制备硅单晶的关键技术装备,所制备的硅单晶主要用于集成电路元件和太阳能电池。在我国,以单
其次是纯度控制,虽说国产坩埚也都采用了进口的原料,但在坩埚生产过程中各种因素的杂质沾污,导致最终坩埚成
直拉法生产硅单晶,必须使用石英坩埚。石英坩埚按生产的硅单晶的级别分类有电子级和太阳能级,而电子级又根据产品的类别对石英坩埚有不同的要求。多年来通过石英坩埚及硅材料厂家的相互配合与支持,石英坩埚的工艺技术、产品质量都得到了长足的进步:部分替代进口,而且批量出口,国产坩埚在国际市场争得了一席之地。但是应该看到,国产石英坩埚与国外高品质的石英坩埚在工艺技术和产品性能方面还有一定的距离。
近日,国家863计划项目“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合