刻蚀

　　当前太阳能生产线的设备供应包括各种各样的竞争方案，部分方案利用有毒化学物质，制造有毒废物。如现在工厂广泛应用丝网印刷和湿法刻蚀，它们利用现有适用于太阳能生产的成套生产线设备。不过太阳能是一种
量级，因此利用Q-转换UV DPSS激光器（图3）可以实现高度本地化的上表面刻蚀。除射入深度较浅外，紫外波长还可以在较低的温度下获得较窄的沟槽，对外围温度损伤如微裂纹尽可能少，微裂纹可能会大大影响

刻蚀，它们利用现有适用于太阳能生产的成套生产线设备。不过太阳能是一种替代能源和“可再生”的能源类型，碳排放量几乎为零，因此只要可能，就有采用绿色生产设备的强烈动力。 利用DPSS激光进行
355 nm光波的吸收量比对红外(1064 nm)光波的吸收量大四到五个数量级，因此利用Q-转换UV DPSS激光器(图3)可以实现高度本地化的上表面刻蚀。除射入深度较浅外，紫外波长还可以在较低的温度下

、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、多晶铸锭炉、多线切割机等关键设备，目前48所光伏装备占国产太阳能光伏装备市场份额近85%，已成为太阳能光伏产业装备制造的龙头企业。近年来，中电48所抓住世界太阳能电池

子科技集团第四十八研究所）光伏产业项目，总投资8亿元，将形成100MW光伏产业链，预计产值将达到100亿元。48所是国内领先的太阳能光伏设备研发生产单位，先后成功开发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机

提供蒸发设备，未来会继续扩大本地化生产规模，溅射、CVD、刻蚀等设备也会陆续放到中国大陆生产。未来爱发科会继续加快设备的本地化进程。 (编辑:xiaoyao)

成本。 香港小组以氢氟酸-硝酸银溶液或含有氧化剂的氢氟酸溶液(以银或其它金属为触媒)来刻蚀Si(100)的晶圆，不仅能快速制备出晶圆规模的硅纳米线，而且这种硅纳米线不需任何掺杂就具有良良好的
导电性。由于这些是半导体业界常用的方法，因此能将生产成比控制在合理的范围。 李述汤表示，利用金属催化刻蚀硅晶圆有许多优点，如它能以低成本刻蚀出大面积且排列方向一致的硅纳米线阵列，而且硅纳米

200/300mm集群系统Versalis fxP，将刻蚀、CVD、PVD系统整合在同一工艺平台，提供一站式解决方案。 　　据AVIZA公司PVD/CVD/刻蚀事业部营销副总裁David
Butler介绍，对于TSV研发和试产，理想的方案是拥有完成TSV所需的四大独立关键工艺步骤的成套整合工具：TSV刻蚀、CVD 衬垫、衬垫刻蚀及PVD，由于能够在一个平台上将这些工艺无缝地转移到生产环境中

发科苏州生产基地已经可以提供蒸发设备，未来会继续扩大本地化生产规模，溅射、CVD、刻蚀等设备也会陆续放到中国大陆生产。未来爱发科会继续加快设备的本地化进程。 (编辑:xiaoyao)

生产基地已经可以提供蒸发设备，未来将会继续扩大本地化生产规模，溅射、CVD、刻蚀等设备也会陆续放到中国大陆生产。未来爱发科会继续加强设备的本地化进程，这是毋庸置疑的。 这次日本PV展会参观的人很多，也很

中国大陆成立了13家子公司，为了贴近市场，降低成本，爱发科目前整条生产线大陆生产的计划正在酝酿中，爱发科苏州生产基地已经可以提供蒸发设备，未来将会继续扩大本地化生产规模，溅射、CVD、刻蚀等设备也会陆续