刻蚀

中国大陆成立了13家子公司，为了贴近市场，降低成本，爱发科目前整条生产线大陆生产的计划正在酝酿中，爱发科苏州生产基地已经可以提供蒸发设备，未来将会继续扩大本地化生产规模，溅射、CVD、刻蚀等设备也会陆续

生产基地已经可以提供蒸发设备，未来会继续扩大本地化生产规模，溅射、CVD、刻蚀等设备也会陆续放到中国大陆生产。未来爱发科会继续加快设备的本地化进程。

。 光伏产业的飞速发展给中国半导体支撑业带来新机遇 经过多年的技术攻关和积累，中国半导体支撑业发展良好。如半导体前道工序用的离子注入机、刻蚀机、扩散炉、快速热处理设备、清洗机、涂胶显影

。 2006年9月28日中芯国际与北方微电子和中科信在北京签署200mm离子注入机和刻蚀机的采购合同，本土设备业迈出了实质性的一步，开始真正踏上了产业化的轨道。然而，面对国外设备残酷的市场竞争，本土

。 此次展出的硅锭将用作300mm刻蚀装置的上部电极使用的簇射极板（Shower Plate）以及设置在晶圆载物台上的环状调焦环（Focus Ring）等部材。上述产品该公司均已投产，部件直径达

、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、清洗机、单晶炉、铸锭炉等光伏装备和产品，以最快的建设速度、几乎全国产化的自有装备建成了75MW太阳能电池生产线。现在，国内的每一条太阳能电池生产线，都可看到48所的产品

在线检测技术，减少人手接触硅片、电池表面，避免了电池污染。并全面采用湿法刻蚀工艺，可将电池转换效率提高0.1%以上。使用隐性裂纹检测技术能够有效地检测出存在微裂纹电池的组件或虚焊的组件，从而大大避免组件使用过程中的烧毁、功率大幅衰减的问题，保证组件的使用寿命。

本具备太阳能电池设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、8英寸扩散炉、等离子刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、高温烧结炉等相继在国内大生产线上替代了
片生产线上，属于比较成熟的设备；国产刻蚀设备距国际先进水平差距较大，产量较低，但性价比优势明显；管式PECVD工艺结果接近国际先进水平，正逐步进入大生产线，但相对于进口平板连续式PECVD设备，自动化

左右。主要厂商如下： 　　中国电子科技集团第48研究所：国内太阳能电池设备的最大供应商，所生产的扩散炉、等离子刻蚀机、低温烘干/高温烧结炉、管式PECVD等占据了绝大部分国产设备市场并开始出口，单晶炉
、管式PECVD、烘干/烧结炉、清洗腐蚀制绒设备以及周边PN结刻蚀设备等代表了当今世界的最高水平。 　　德国Roth&RaU公司、OTB公司、日本导津公司：平板PECVD设备国际领先。 　　意大利

电池制造，它包括清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。 　　经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子
刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉