刻蚀

、切方滚磨机、多线切割机清洗制绒机、扩散炉、刻蚀机、等离子增强化学气相淀积设备、烧结炉及各种太阳电池测试设备等。西安理工晶科、北京京运通真空设备公司、江苏华盛天国产太阳电池制造设备的喜与忧龙机械

多晶或单晶硅基太阳能电池的制造过程中的制绒工艺。 硅是当前占据主导地位的太阳能电池材料，并且很可能在未来20年内仍然如此。目前太阳能电池工艺广泛采用硅刻蚀，这种工艺在未来的制造中仍将是重要且受青睐的
20%-35%的电池片效率。 “对于任何一家光伏电池制造商来说，在制绒工艺中，精确可靠的刻蚀溶液的监控都是成功实现高品质电池并保持赢利的关键因素，”ECI Technology总裁兼CEO

体生产线的电池板切割设备、清洗设备、制绒设备、扩散设备、镀膜设备、刻蚀设备、印刷设备、烧结设备、测试设备、非硅体生产线装备及最新薄膜技术电池的各种生产技术与测试设备； ■ 光伏产品及控制设备

领先才能带来企业发展的可持续性。” 在新的4条SE生产线现场参观中，笔者对偌大的生产车间里有条不紊的运作印象深刻，制绒、扩散、刻蚀、淀积、丝网印刷以及测试等环节井井有条。中电光伏是在太阳电池制造中采用

、钝化膜激光开孔、激光刻边技术，甚至用激光技术实现选择性扩散等。 干法刻蚀技术应用在多晶硅制绒方面，能有效降低表面反射进而提高电池效率，是很有发展前途的工艺技术之一，已有多家厂商正在开发

㎡。研发生产中心包括半导体电路级要求的净化车间、高纯水系统、清洗制绒间、高温扩散炉、链式烧结炉、烘干炉，RTP炉、等离子刻蚀机、PECVD硅烷沉积设备等组成的125×125 mm、155×155 mm

单晶硅电池的转换效率最高,国内已达到17.6%。多晶硅电池的转换率也突破了16%。制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等

硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池
大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大。此外

的包括扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、清洗机、单晶炉、铸锭炉等关键设备在内的“晶体硅太阳能电池制造成套装备”获得成功，也标志着我国已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力

国际竞争的条件；200mm扩散炉的制造已和国际中等水平相当，性价比优势十分明显，并在实际中大量应用到国内的太阳能电池片生产线上，属于比较成熟的设备；国产刻蚀设备距国际先进水平差距较大，产量较低，但