刻蚀

吸收层（使均匀度最大化，厚度只有其它公司的同等产品的一半）之间的协同作用。欧瑞康研制的ThinFab?还在激光设备和过程中确立了技术上的领先地位，激光刻蚀之薄也创下了纪录。这不仅增加了组件的活动范围，也

索比光伏网讯:丝网印刷是太阳能电池制造的重要工艺，它质量的好坏会对太阳能电池的性能特别是电性能产生重要影响。在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和PECVD制减反膜，下一工艺

索比光伏网讯:概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。本章将着重阐述镀膜设备等离子体增强化学气相沉积

后进行刻蚀。在扩散过程中，硅片的周边表面也形成扩散层。周边扩散层使电池的上电极和下电极形成短路，必须将它除去。这个工序是太阳电池制作中必不可少的一步，周边存在任何微小的局部短路都会使电池并联电阻下降
，以至成为废品。本章首先对光伏" title="光伏新闻专题"光伏刻蚀技术进行了简单的介绍，并在此基础上介绍了几类典型的刻蚀清洗设备的使用和维护。5.1刻蚀技术简介5.1.1刻蚀的原理在刻蚀工艺的前一步

用于太阳能光伏系统、PECVD、真空镀镆、刻蚀等真空设备当中。公司于2000年进入半导体领域，已有11年丰富的行业经验。2002年，成为全球最大的半导体设备制造商AMAT（美国应用材料公司

组件、电池板及其他建筑一体化产品。本次调查所指称的晶体硅太阳能光伏电池指使用硅片厚度大于20微米，使用任意工艺形成有p-n结，接受但不仅限于以下工艺处理：清洗、刻蚀、镀膜、金属化及其他导电技术。本次

、电池板及其他建筑一体化产品。本次调查所指称的晶体硅太阳能电池指使用硅片厚度大于20微米，使用任意工艺形成有p-n结，接受但不仅限于以下工艺处理：清洗、刻蚀、镀膜、金属化及其他导电技术。本次调查不包括

生产设备之一。华工激光新推出的激光刻膜机LDY1040/LDG540采用先进的激光刻蚀技术，对太阳能非晶硅薄膜电池板的电极层和发电层进行刻蚀。整机采用龙门式结构，由工作台带动电池板与激光头作相对运动。X-Y
工作台采用进口直线电机与高分辨率光栅尺组成全闭环控制系统，确保运动精度。四路精密分光系统将激光能量均分成四路输出，可同时刻蚀四路电极（见图7、图8）。图7：华工激光的激光刻膜机可同时刻蚀四路电极

、激光刻槽、等离子刻蚀（ＲＩＥ）和各向同性酸腐蚀。机械刻槽的工艺方法要求硅片厚度在２００ｍ以上，因为刻槽的深度一般在５０ｍ的量级上，所以对硅片的厚度要求很高，而这样的技术会增加成本。等离子刻蚀制备出硅片