刻蚀

、氢气炉、磁控溅射镀膜设备、化学气相淀积设备（PECVD）、干法刻蚀设备、非标真空设备等。这些产品主要用于科研机构、大专院校、相关生产企业和公司进行科学研究、教学、产品开发、生产。公司还利用自己的
：真空技术事业部和成套设备事业部。真空技术事业部继续专注于磁流体密封及其衍生产品的研发、制造、服务工作；成套设备事业部致力于精细抛光机、扩散炉、等离子刻蚀等电子行业系列设备的研发和推广工作。公司坐落于

的支出，能省的钱尽量省。可就在这个时候，因研发博秀的需要，晶澳要从德国进口一套湿法刻蚀机，报价6000万元。这对于手头正紧的公司来说，是笔不小的开支。带着忐忑的心情，他们把报告打上去了，没想到第二天

光伏市场持续低迷，晶龙的资金链一度陷入紧张，于是，晶龙明确规定：减少不必要的支出，能省的钱尽量省。可就在这个时候，因研发博秀的需要，晶澳要从德国进口一套湿法刻蚀机，报价6000万元。这对于手头正紧的

细微的小孔。实际就是通过化学溶剂刻蚀，在原有的硅太阳能电池的微米孔状结构上再生成许多纳米尺寸的小孔。如此一来，太阳能电池表面得到更细微的结构，它的反射率得以降低，对太阳光的利用率得到提高，从而电池的

形成了许多细微的小孔。实际就是通过化学溶剂刻蚀，在原有的硅太阳能电池的微米孔状结构上再生成许多纳米尺寸的小孔。如此一来，太阳能电池表面得到更细微的结构，它的反射率得以降低，对太阳光的利用率得到提高

的化学刻蚀方法，在原有的电池的微米结构上再生成许多纳米尺寸的小孔，如此一来，太阳能电池表面得到更细微的结构，它的反射率得以降低，对太阳光的利用率得到提高，从而电池的发电效率也得到提高。韩长安介绍，通过

一年多时间完成。黑硅太阳能电池成本低、生产效率高，目前已在苏州投产，部分产品在日本很受欢迎。黑硅技术据了解，韩长安团队通过较便宜的化学刻蚀方法，在原有的电池微米结构上再生成许多纳米尺寸的小孔，反射率降低

使用于芯片生产和检测的每一步，公司的产品覆盖物理气相沉积，化学气相沉积，刻蚀，快速热处理，离子注入，外延, 测量与检测，清洗等步骤，不一而足。公司下属子公司AKT占平板显示器市场份额超过80%，是全球

公斤，而且将铸锭能耗降到了5千瓦时/公斤以下，而且提高了可切片率，铸锭成本比目前国际上最先进的多晶硅铸锭炉低40%以上。而硅片和电池片方面，上海普罗所开发的干法刻蚀技术，不仅降低了硅片清洗和制绒成本

率，铸锭成本比目前国际上最先进的多晶硅铸锭炉低40%以上。而硅片和电池片方面，上海普罗所开发的干法刻蚀技术，不仅降低了硅片清洗和制绒成本，而且还免除了酸液的处理和排放，更为环保和清洁;此外，上海普罗所