刻蚀

。 光伏生产装备：重点发展太阳能光伏电池清洗、刻蚀、扩散、涂膜、丝网印刷、分检等关键设备等产业。 硅片：重点发展大面积超薄硅片和浆料回收利用技术，加强对熔铸、剖锭及切割等关键技术的创新

、大面积湿法刻蚀机等设备工艺进行了解，对天威薄膜在实验室建设运行期间获得的科技成果、知识产权等突出业绩予以肯定和赞扬，对薄膜公司在薄膜光伏技术领域的研发实力给予了高度评价。通过全面考察，验收组一致认为

沉积技术、标准化、系统工程技术等7个实验室。期间，验收组对大面积磁控溅射设备、激光划线设备、大面积湿法刻蚀机等设备工艺进行了解，对天威薄膜在实验室建设运行期间获得的科技成果、知识产权等突出业绩予以肯定和

难题，就必须在技术上敢于创新、积极创新。目前，我国的光伏产品主要是技术相对成熟的硅太阳能电池，尽管其光电转换效率很高，但由于在生产及后处理中需要对硅材料进行提纯与刻蚀，不仅工艺复杂、高耗能，而且会产生

的光伏电池组件、光伏装备电池工艺全都是独立自主研发，不需要依靠其他企业。红太阳光电工作人员刘良说。该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏

了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案，成为国内最大的太阳电池

道路。我们的光伏电池组件、光伏装备电池工艺全都是独立自主研发，不需要依靠其他企业。红太阳光电工作人员刘良说。该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等

纲领性文献(三)在先进光伏电池制造技术方面，例如N型高效电池，无膜组件，干法刻蚀等环节的工艺和设备，我国和和国外还有一定差距。但是，冶金法多晶硅，准单晶，N型准单晶电池，国内的技术接近欧美，成本却远远低于

的未来技术，也怪不得给起草这个文件的那些智囊专家。在先进光伏电池制造技术方面，例如N型高效电池，无膜组件，干法刻蚀等环节的工艺和设备，我国和和国外还有一定差距。但是，冶金法多晶硅，准单晶，N型准单晶电池

助益。RENA GmbH首席执行官尤尔根古特孔斯特(Juergen Gutekunst)表示：n-PASHA技术是一项高效率技术，拥有卓越的成本效益比。作为一家湿法刻蚀、清洁以及电镀工艺领先的供应商