光伏蚀刻设备

》、《中国电子报》、《化合物半导体与光电技术》、《新能源产业DM》、《中国太阳能光伏》、《化学与物理电源系统》、《电源技术应用》、《电子工业专用设备》、《太阳能发电》、、《新材料产业》、《建筑节能
示灯、太阳能信息显示屏、太阳能手电筒、 太阳能背包、太阳能手表、太阳能充电器、太阳能工艺品、太阳能礼品等等 2、 光伏生产设备 多晶硅/单晶硅生产设备、硅片生产设备、光伏电池、组件生产设备

年4月1日14:30-18：30 〖展示内容〗 太阳能光伏产品：晶体硅电池及组件、薄膜电池及组件； 光伏生产设备：硅棒/硅锭生产设备、硅片/晶圆生产设备、电池片/组件生产设备、薄膜组件生产设备

8:30-16:30撤展：2010年5月 7 日 15:00-17:00展出内容（展品属类）：A、 光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备硅片
晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关设备电池生产设备： 全套生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉， 丝网印刷

。对薄膜光伏生产的预测，揭示了三氟化氮的第三个使用周期，其用量将在未来几年内迅速超过半导体和液晶面板。三氟化氮的这一使用规模促使了Michael Prather （诺贝尔和平奖获得者-政府间气候变化
源就能够有效激活氟气。 在可比的大规模流量情况下，相比三氟化氮，氟气对SiN4、SIO2和 a:Si 的清洗时间减少了50%以上。 因为在TFT-LCD和薄膜光伏制造中会用到更大尺寸的腔室和更高的

）： A、 光伏生产设备： 硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备 硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关

:30-16:30 撤展：2009年5月 8 日 15:00-17:00 展出内容（展品属类）： A、 光伏生产设备： 硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备

，太阳能电池需求量大大增加。 世界上许多公司，如日本电子消费品制造商夏普公司（Sharp Corp）和德国光伏巨头Q电池公司（Q-Cells）都生产了薄膜太阳能电池，然而，这类薄膜太阳能电池在将太阳能转换
为电能上的效率普遍不及传统的太阳能电池。 罗杰斯称，他们的技术采用的是传统单晶硅，它们坚固耐用、效率高，然而目前来看过于刚硬因而显得脆弱。罗杰斯他们采用了一种蚀刻的方法处理这些硅。在一大片硅片表面

，太阳能电池需求量大大增加。 世界上许多公司，如日本电子消费品制造商夏普公司（Sharp Corp）和德国光伏巨头Q电池公司（Q-Cells）都生产了薄膜太阳能电池，然而，这类薄膜太阳能电池在将太阳能
转换为电能上的效率普遍不及传统的太阳能电池。 罗杰斯称，他们的技术采用的是传统单晶硅，它们“坚固耐用、效率高，然而目前来看过于刚硬因而显得脆弱。”罗杰斯他们采用了一种蚀刻的方法处理这些硅。在一大片

：★太阳能光伏生产设备：1．硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备；2．硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关设备；3．电池生产设备： 全套

日 14：00-17:00展出内容：光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关