光伏原子镀膜

高效光伏电池核心装备。该公司大股东为北京捷造光电技术有限公司，持股比例为38.48%。捷造光电成立于2010年，专注从事真空镀膜装备研发与制造，尤其是非晶硅薄膜电池装备，异质结镀膜装备达到了半导体装备

)钙钛矿层厚度仅500nm，对玻璃基底的热胀冷缩和翘曲更加敏感，提高了膜层成膜难度;2)一次性成膜面积在平米级，与晶硅电池镀膜(最大0.2m×0.2m)相比面积有显著提升，提升成膜难度。目前钙钛矿层的主流
制备工艺包括溶液涂布法和真空镀膜法。溶液涂布法成本低、设备兼容度高、原料利用率高，但大面积均匀性不易控制、对基底平整度要求高。真空镀膜法均匀性控制好、对基底平整度要求低，但原料利用率较低、成本高、生产

于2015 年12 月，是一家面向全球的高端设备制造商。公司以原子层沉积(ALD)技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS 等
“光能杯”评选活动于2012年正式启动，是光伏行业最受瞩目的行业评选活动。10余年来，“光能杯”始终敬畏并忠实记录中国光伏行业发展历程，细数光伏行业最高成就，见证“标杆的力量”。“光能杯”2022

、生态水泥、低碳混凝土及功能性混凝土产品研发，提高42.5以上强度等级水泥产品比重；加快玻璃产品升级换代，重点发展高附加值的优质浮法玻璃、光伏玻璃、节能玻璃、超白玻璃、超薄镀膜工业汽车用玻璃等深加工玻璃
特高压设备、生物医药、晶硅光伏、风电装备、高端纺织、高技术船舶等产业链整体竞争力，做强集成电路、轨道交通、5G、新型医疗器械等产业链优势环节。强化基础研究支撑，推进互联网、大数据、人工智能、物联网等

生产29.半导体照明材料上下游产品及相关设备的研发、制造30.锂电池等锂产品生产专用设备的研发、制造31.光学部件及镀膜技术的研发、应用及制造32.光伏发电系统集成技术开发与应用33.宽带业务和增值
光伏相关的产业：全国鼓励外商投资产业目录：（十四）非金属矿物制品业：117.薄膜电池发电玻璃、太阳能集光镜玻璃、建筑用光伏发电玻璃生产（二十一）电气机械和器材制造业：310.新能源发电成套设备或关键设备

透明导电氧化物(TCO)薄膜具有以下光电特性，主要包括禁带宽、可见光谱区光透射率高、电阻率低等，也因此在光伏电池、平面显示、特殊功能窗口涂层及其他光电器件领域具有广阔的应用前景。它是异质结电池中实现
到衬底的薄膜颗粒脱离衬底，薄膜结构遭到损坏，产生大量空位、错位及吸附氧原子，薄膜宏观结构变得疏松。因此较高的氧氩比会导致IWO薄膜透光率降低。02、氧氩比对IWO薄膜方块电阻的影响如图3所示，随着氧氩

使用不同的镀膜方法进行制备。主要方法可分为 物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、原子层沉积 ALD。在光伏行业中应用 较多的包括 PECVD, ALD, LPCVD, PVD 等技术
，并且可能导致 PN 结漏电，因 此需要使用化学试剂对 PSG(BSG)层进行刻蚀清洗。(4) 镀膜镀膜是光伏电池制备中的重要工艺，光伏电池根据结构的不同，钝化膜层的种类较多，不同材料的膜层需要