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清洗制绒设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备,在设备投资额占比分别约 10%、50%、25%和 15%。 1)制绒设备：主要是利用化学制剂对硅片进行清洗和
设备-PVD/RPD：技术壁垒低于 PECVD，主要包括 RPD 和 PVD 两种的技术路径设备。目前主流技术路线是用 PVD(物理气相沉淀)，相较于 PVD，RPD 的效率和质量更高，但是受制

沉积、TCO 制备、电极制备，对应的设备分别为清洗制绒设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备,在设备投资额占比分别约 10%、50%、25%和 15%。 1）制绒设备：主要
，生产速度更快。 3）TCO 薄膜设备-PVD/RPD：技术壁垒低于 PECVD，主要包括 RPD 和 PVD 两种的技术路径设备。目前主流技术路线是用 PVD（物理气相沉淀），相较于 PVD

(与安徽华晟的迈为设备相同)，多了一次翻面，但是可以提高至少0.15%的转换效率，且减少了镀膜的污染。 2)在透明导电膜环节(设备价值量占比25%)使用的是PVD设备。我们一直认为，虽然RPD的效率高
，但是在量产线上，PVD又一次被选择，说明PVD已经逐步被客户广泛认可;RRP和PVD的靶材发射方式的区别导致了是否适合量产，RPD的方式是蒸镀，靶材容易落到腔体，需要定期开腔回收和清洗;PVD的镀膜

(与安徽华晟的迈为设备相同)，多了一次翻面，但是可以提高至少0.15%的转换效率，且减少了镀膜的污染。2)在透明导电膜环节(设备价值量占比25%)使用的是PVD设备。我们一直认为，虽然RPD的效率高
，但是在量产线上，PVD又一次被选择，说明PVD已经逐步被客户广泛认可;RRP和PVD的靶材发射方式的区别导致了是否适合量产，RPD的方式是蒸镀，靶材容易落到腔体，需要定期开腔回收和清洗;PVD的镀膜方式

、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等国内设备厂商积极推进HJT整线设备产业化，带动核心设备价格持续下降，Solarzoom预计2022年设备成本有望降至3亿元/GW
、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产产线基本实现了HJT设备的国产化替代。从目前量产产线的招标设备情况看，国内的

据了解，今年3月18日正式投产出片的安徽华晟，投产电池线采用了启威星(YAC)的清洗制绒设备、迈为及理想的PECVD设备、迈为的PVD设备、迈为及中辰昊的丝网印刷设备。华晟500MW异质结电池
，钧石能源拥有自主知识产权的PECVD、PVD等核心生产设备技术，可兼容166mm、18xmm以及210mm尺寸硅片，适应未来行业的发展要求。 5月28日，通威宣布1GW高效异质结电池项目设备如期进场

沉积、电极金属化四个步骤，分别对应的制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等国内设备厂商积极推进 HJT 整线设备产业化，带动核心设备价格持续下降
、PECVD、 PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产产线基本实现了 HJT 设备的国产化替代。从目前量产产线的招标设备情况看，国内的迈为股份、捷佳伟创、钧石能源等厂商整线化布局

、捷佳伟创、钧石能源均有PVD设备销售，理想万里辉正在推进样机研发。华晟异质结流片，转化效率24.39%，国产设备正在验证中;通威异质结新项目预计下半年投产。2021年3月，华晟宣城500MW
理想万里晖的PECVD设备、迈为股份的PVD设备、迈为股份及中辰昊的丝网印刷设备，并使用了迈为股份MES系统对全电池产线进行调度及智能优化。此外通威异质结新项目预计下半年投产，随着产线继续量产化运行