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近日，由三一硅能装备公司研发的PECVD和PVD组建的异质结试验线，异质结电池最高效率首次突破25.29%。此次突破充分证明自研设备的工艺性能和可靠性，为三一异质结电池装备产业化奠定坚实基础。三一
异质结试验线电池效率首次突破25%，达到25.29%。后续将开发双面微晶工艺，效率有望更上一个台阶。三一硅能装备公司自研的PECVD和PVD，于2022年项目立项，在短时间内完成方案设计、制造组装、调试

要采用涂布工艺和 PVD 工艺，流程简易且适合规模化生产，设备投资额小，因此设备、土地折旧也低于晶硅组件全产业链的折旧。不仅如此，由于钙钛矿组件重量轻，因此也可以节约物流成本和人力成本
)钙钛矿材料，结晶，再以激光刻出第二道槽，实现串联;3)真空镀上背电极后，第三道激光划线，第四道激光清边;前道工序就此完成。前道涂布核心设备有激光设备、真空磁控溅射镀膜(PVD)设备、涂布

、美观”的制造理念备受关注。山西中来光能所生产的n型TOPCon电池量产转化效率可达25.5%以上。J-TOPCon 2.0首创板式PVD技术(POPAID)沉积poly层，无需额外的去绕镀工艺
。山西中来光能电池产品展示观众咨询山西中来光能电池产品中来首创安全无漏电的PVD技术，制造成本更低、良率更高、发电更安全。目前山西中来光能年产16GW高效单晶电池智能工厂项目一期首批4GW已实现量产，后续

材表面气化或电离，再沉积到基底表面形成薄膜。真空镀膜技术分为物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。物理气相沉积法主要分为真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜。在钙钛矿层制备中，主流
，通过PVD(物理气相沉积，通常为磁控溅射技术)镀膜，然后冷却、刻蚀，完成镀膜。FTO在线镀膜技术比较成熟，设备价格较贵;ITO和 AZO 通常离线镀膜，磁控溅射技术十分成熟。叠层钙钛矿电池结构连续

TOPCon的核心工序，工艺路线大致分为LPCVD本征+磷扩、PECVD原位掺杂、PVD原位掺杂等。异质结电池生产流程包括材料选择、基片准备、硅片切割、链式清洗、链式吸杂、清洗制绒、PEVCD镀膜
、PVD镀膜、丝网印刷、测试分选和包装入库等步骤。其中，PEVCD镀膜和PVD镀膜是关键步骤，分别用于沉积本征非晶硅薄膜和掺杂非晶硅薄膜，以及沉积TCO透明导电氧化薄膜。由于TOPCon电池的生产流程相对

近日，金辰可再生能源实验室产业化异质结(HJT)电池转换效率达到 25.35%，达到行业先进水平。金辰可再生能源实验室，使用公司自研的大腔体PECVD及PVD设备，建立异质结(HJT)太阳电池
%!(CNAS资质中国科学院电工所认证)达到国内先进水平。在使用单面微晶工艺的同时，金辰实验室还将导入双面微晶工艺，电池转换效率能有望突破25.5%!金辰股份以PECVD和PVD真空镀膜设备为核心，为客户提供

、光学镀膜等产品的生产。此外，它也被应用在异质结电池制程的第三个环节，即通过PVD设备，利用磁控溅射原理，将靶材(ITO)沉积到硅片表面，制备双面一致的透明导电膜(TCO)。然而，作为一种稀有金属，铟的
“降铟三部曲”：一、设备优化降铟对于异质结电池的PVD设备，迈为从研发设计之初就重视靶材单耗的降低。通过对溅射单元的不断优化，目前迈为的最新设备对于100%铟基靶材的理论单耗已从近20mg/W降至

、立式旋转腔PVD镀膜设备等电池工艺设备模型来到现场，展示前沿电池装备创新工艺。大面积多源团簇式蒸镀机◇ 团簇式布局，精密对位◇ 钙钛矿材料共蒸程序内置◇ 旋转升降温控基板HJT制绒清洗机◇ 快速平稳
的布液系统◇ 派单式调度，工艺柔性化◇ 自动闸门解决气体串流立式旋转腔PVD镀膜◇ 立式设计，占地面积小◇ 大幅宽大产能设备设计◇ 智能化工艺程序管理晟成光伏不仅以强劲的产品力瞩目会场，更以优质专业的