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绒、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素
缺陷检测。EL测试的图像亮度与电池片的少子寿命(或少子扩散长度)、电流密度成正比，太阳电池中有缺陷的地方，少子扩散长度较低，从而显示出来的图像亮度较暗。电池制造过程，一般包括制绒、扩散、刻蚀、PECVD

、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素来源于印刷
、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结等工序。每道工序过程中，由于存在人为因素、环境因素及机械不稳定等因素，造成硅片的一些缺陷及污染等，从而影响电池片的性能。因此黑斑片的出现，也许是硅片原材料的问题

操作手法，操作工序设备等有关，较难避免。 2.2工艺污染在PERC电池制备工程中，由于电池片清洗不干净、吸盘接触、导条接触、花篮接触、人员接触、粉尘沾污等等。 3PERC电池EL缺陷成因分析
3.1PERC电池工艺流程及相关设备 PERC电池主要工艺流程包括9个方面:一是去切割损伤和制绒生成金绒面，在此工艺环节所用到的主要设备为捷佳创单晶槽式制绒;二是扩散生成PN结，在此工艺中所涉及设备为

的切割面会影响光伏电池的发电效率。制绒类似于磨砂，通过化学手段均匀地刻蚀硅片，才能确保光伏电池以最高效率运行。张文锋说，这项技术没有壁垒，但工序安排和实验设备难以复制，公司通过自主研发，攻克了这一难关
，通过反复琢磨清洗化学配方，寻找最佳工艺匹配，终于找到了扩大成本优势、满足不同区域设备发电要求的金钥匙。以黑硅制绒为例，东方日升通过改进硅片切割技术，将切割时间缩短了三分之一，成本大幅降低，但过于光滑

两种刻蚀工艺，这个生产过程需要很多新浆料来适应。在过去的半年贺利氏做了很多的努力，实现了技术上的突破。到目前为止，不管厂商用干法工艺还是湿法工艺，贺利氏都可以提供让他们满意的浆料，这个任务在去年Q4
量产。但是目前的产业现状来看，假如有公司要生产异质结电池，可能需要采购比较昂贵的设备，这样对企业会形成很大的压力。所以异质结电池的量产可能还需要4-5年的时间才能得以实现。而有机电池目前的转换效率相对来说还

》。该所已建成一条相对完整的晶体光伏电池中试线(可年产光伏组件50kW/年)，包括：高纯水制备、半导体清洗、扩散、氧化、光刻、等离子刻蚀、PECVD化学汽相沉积、烧结、真空蒸发镀膜、RF溅射镀膜和离子束
工程中心、新能源材料与光电技术研究中心、生物质能研究中心、新能源与城市环境研究中心、水库移民研究中心。学院设有生物质发电成套设备国家工程实验室，新能源电力系统国家重点实验室，新型薄膜太阳电池北京市重点

装备科技有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。微导的使命是通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机。

专项，实现了我国高端集成电路装备的技术提升，同时积极向节能环保、新能源等新兴战略产业拓展。北方微电子在集成电路领域的产品涉及8英寸和12英寸等离子硅刻蚀机，太阳能领域的产品为ESSIND平板式PECVD
镀膜系统，LED领域的产品是ELEDE系列电感耦合等离子体刻蚀机。自2009年进入太阳能领域以来，以其强势的技术研发团队和经验，在短时间内，顺利实现PECVD的量产化，达到了国籍水平，也填补了国内空白

成为国家级开发区。康桥基地建成后，将主要用于蓝宝石后端PSS图形化衬底的生产及设备研发。（PSS图形化衬底：是通过在衬底面上刻蚀出规则排列的圆锥体来实现光在衬底内的多次反射，从而进一步提升衬底材料的
发光效率）。当前，PSS 设备和工艺因其技术领先，工艺复杂，在这个领域中，韩国第一，台湾第二，国内尚无成熟的设备及工艺供应商。不断突破LED 上游核心设备国产化的发展瓶颈，是昀丰新能源从创始之初至今的

（反应离子刻蚀法Reactive Ion Etching，RIE）和湿法黑硅技术（金属催化化学腐蚀法metal Catalyzed Chemical Etching，MCCE）等都可以解决金刚线切割的
。2004年，日本京瓷公司引入了干法黑硅RIE多晶制绒技术。在2008年，以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广干法黑硅RIE技术。湿法黑硅方面，早在2006年，德国的Stutzmann小组即提出

（反应离子刻蚀法ReactiveIonEtching，RIE）和湿法黑硅技术（金属催化化学腐蚀法metalCatalyzedChemicalEtching，MCCE）等都可以解决金刚线切割的多晶硅片
京瓷公司引入了干法黑硅RIE多晶制绒技术。在2008年，以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广干法黑硅RIE技术。湿法黑硅方面，早在2006年，德国的Stutzmann小组即提出了金属催化化学腐蚀的

日，位于蚌埠市高新区的凯盛光伏材料有限公司生产车间内，一块玻璃经过上片、清洗、激光刻蚀、镀膜、热处理、效率测试、产品检测等20多个环节后，当单臂机器人精准地把这块加工完的玻璃放到指定位置时，厂房里传来
引进的生产设备极其复杂，总价值10亿元左右。只要一连网，工作人员坐在家里都能看到生产运行情况。一旦有问题需要解决，即使技术人员在外出差，也都可以通过远程遥控指挥。整个生产线的每个环节都经过行业专家

会经过制绒、扩散、刻蚀、退火、镀膜、丝网印刷、测试分选七道完整精密的工序，然后化身为一张张电池片。在这条被称为世界首条工业4.0高效电池生产线面前，记者看到，生产线有条不紊地运行着，车间除了几个监督人
员外，整个电池制造环节全部由高度智能化、自动化生产设备完成。据现场工作人员介绍，这条生产线在全球光伏行业中具有里程碑意义，自今年9月20日投产以来，各方面运行顺利。记者看到，门口的数字屏显示着工厂的

只能进行一次。2、直拉法的优缺点设备和工艺比较简单，容易实现自动控制；生产效率高，易于制备大直径单晶；容易控制单晶中杂质浓度，可以制备低阻单晶。易被坩埚污染，硅单晶纯度降低，拉制的硅单晶电阻率大于50
。目前区熔单晶应用范围比较窄，不及直拉工艺成熟，单晶中一些结构缺陷没有解决。二、工艺流程1、直拉法法CZ法主要设备：CZ生长炉CZ法生长炉的组成元件可分成四部分（1）炉体：包括石英坩埚，石墨坩埚，加热

防摔能力，一般市场上的组件防尘防水能力能够达到IP65级别，IP是Ingress Protection的缩写，IP等级是针对电气设备外壳对异物侵入的防护等级，IP68当中的6代表防尘级别的最高级别
组件的缝隙用硅酮树脂填充。各边框间用角键连接。粘接接线盒：在组件背面引线处粘接一个盒子，以利于电池与其他设备或电池间的连接。组件测试：测试的目的是对电池的输出功率进行标定，测试其输出特性，确定组件的