光伏咨询搜索-索比光伏网

工艺，量产化困难度低。图2. TOPCon 工艺流程图目前用于生长高质量重掺杂多晶硅层的方法有LPCVD(低压化学气相沉积)和PECVD两种。一种是用LPCVD原位(或离位
)掺杂形成多晶硅，由于LPCVD沉积过程会带来绕镀问题，使电池性能退化，因此可选择离位掺杂，即LPCVD形成本征多晶后再进行扩散或离子注入掺杂，形成重掺杂的多晶硅;另一种是使用PECVD沉积掺杂非晶硅或微

、拉普拉斯均可提供低压扩散炉。薄膜沉积设备逐步突破，提效降本前景可期：在 TOPCon 电池制造工艺中，LPCVD 技术被大量应用于非晶硅沉积的量产实践中。目前用于 TOPCon
%的转换效率提升，与现有 PERC 产线兼容性较高，已成为主流标配技术：PERC+SE 技术以扩散后的 PSG 层为磷源，利用激光可选择性加热的特性，在电池正表面电极位置进行磷的二次掺杂，形成选择

硅片寿命的损伤; 2) 低压硼扩选择性掺杂技术硼源在炉管内及硅片表面分布更加均匀，扩散后方阻均匀性好。另外沉积时间短，可将工艺时间缩短至 90 分钟以内，显著降低高温对硅片寿命的损伤; 3
先进性介绍》，TopCon 电池片具备以下技术特点： 1) 离子注入掺杂多晶硅钝化技术通过离子注入进行掺杂，可以控制掺杂原子的剂量和在非晶硅中的分布，避免常规扩散掺杂长时间的高温过程对隧穿氧化层及

第一台国产软着陆扩散炉、第一台管式PECVD，业内首条高效PERC电池智能制造生产示范线拥有如此多第一的湖南红太阳光电科技有限公司(简称红太阳光电)是怎样做到的?关于未来，红太阳光电又有哪些战略规划
光伏装备领域为光伏企业的降本之路献一份力。据卫桁介绍，在光伏装备领域，红太阳光电目前已研发生产了SFQ-626XXZR全自动清洗机、M5110-6WK/UM型高温低压氧化炉、PECVD镀膜设备

、捷佳创低压扩散炉; 三是边缘刻蚀和去磷硅玻璃，此环节需要仪器SCHMID刻蚀机、SCHMID自动动化仪器; 四是背钝化在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜，此环节需仪器MeyerBurger的
电池主要工艺流程包括以下几个方面: 一是去切割损伤和制绒生成金绒面，在此工艺环节所用到的主要设备为捷佳创单晶槽式制绒; 二是扩散生成PN结，在此工艺中所涉及设备为Tempress扩散炉、R2D自动化

Brendel教授表示，我们的结果表明，无论是n型硅、硼扩散还是非晶硅，它们都不是实现超高效率所必须的。还有其他很有吸引力的办法能取得最高硅效率，同时潜在的成本又很低! 创下记录的电池在电池负接触
了项目合作伙伴Centrotherm和瓦克化学的贡献。 Centrotherm在低压化学气相沉积反应器中沉淀了多晶硅层，瓦克化学贡献了硅片的高温加工知识。 ISFH的研究获得了德国联邦经济和能源部

。同时，通过降低银浆用量，MBB电池的成本得以进一步缩减，真正实现了降本增效的目的。东方日升表示：MBB技术研发的最大难点在于如何实现栅线设计、扩散方阻和金属接触的三位一体优化。基于多年的技术积淀与
批次平均效率23%的目标。自2018年531光伏新政出台以来，中国光伏企业面临着持续的效率提升需求和更大的成本降低压力。为此，东方日升也将继续聚焦于先进电池组件技术的研发，不断推动多主栅、半片等高

金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ALD)氧化铝与等离子体化学气相沉积(PECVD)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。背面采用上述TOPCon技术(基于硝酸热氧化化学工艺)，PECVD沉积
都是采用了多晶硅加氧化层结构设计，且其对应的氧化层的生长方法相近，不同点在于:(1)前者先采用低压化学气相沉积(LPD)法沉积本征多晶硅，然后采用离子注入形成n+/p+多晶硅，后者则采用PECVD法

。 Fraunhofer研究所采用N型FZ硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ALD)氧化铝与等离子体化学气相沉积(PECVD)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。背面
结构，其对应的POLO太阳电池结构如图7所示。POLO电池与TOPCon电池都是采用了多晶硅加氧化层结构设计，且其对应的氧化层的生长方法相近，不同点在于: (1)前者先采用低压化学气相沉积(LPD

的进口低压扩散炉、原子层沉积设备等设备和所需的零部件、原材料免征关税和进口环节增值税。该政策的下发，对于采购进口设备的厂商也是重大利好。基于此，光伏平价上网或许，指日可待。
、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备等。天合光能、阿特斯、晶科、隆基等龙头企业均为其客户。此外，捷佳伟创近年大力开拓海外市场，目前海外营收占比近40%。2017年，公司五大客户：阿斯特、天鹤集团、隆基、中来光电

2019年1月1日起执行，符合规定条件的国内企业为生产本通知附件1所列装备或产品而确有必要进口附件2所列商品，免征关税和进口环节增值税。其中，附件一和附件二中的第十五章节，对光伏领域所需的进口低压
扩散炉、原子层沉积设备等设备和所需的零部件、原材料免征关税和进口环节增值税。 4、十三部委机关发文：规范产业扶贫和光伏扶贫杜绝政策养懒汉从国务院扶贫办官网获悉，近日，13个国家部委、机关

高效多晶硅PERC电池的工艺流程;同时还给出了非PERC电池的工艺流程用于对比。在完成CSI具有知识产权的最先进黑硅制绒( 金属催化化学刻蚀-MCCE)步骤之后，将电池放到管式炉中进行低压
POCl3扩散以形成n+-Si发射极。然后在下一步移除磷硅酸盐玻璃(PSG)和清除电池背面。图一：分别展示了传统多晶硅电池(左)和CSI的高效多晶硅PERC电池(右)的工艺流程。使用原子层沉积

线路避雷器批量应用。为推进电能代替，研发了高压大容量变频电源、低压大容量岸基供电系统、船岸连接设备等核心产品体系，并开发现场监控系统、岸电运行平台等配套软件，能够提供港口岸电的一体化
南瑞引领的跨越，南瑞的品牌标志已经成为一道道靓丽的蓝色风景线。以扩展为思维导向著名经济学家阿瑟说过，在实现了技术突破之后还要不断地扩散，直至整个经济体系都能适应新的技术。把这句话与南瑞