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、高效还原等核心技术，N型单晶。中来股份 5GW的N型双面电池，N型双面Topcon(隧穿氧化钝化)电池，是光伏行业广泛认可的一个高效技术方向，具有易兼容现有n-PERT产线、改善PERC电池背面
专利的高效叠瓦组件技术，计印刷法 GPP 玻璃钝化芯片新工艺。南玻A 上半年项目：在镀膜技术上，第三代和复合功能节能玻璃产品，玻0.2mm-1.1mm中铝、高铝超薄电子玻璃，高端防眩光AG玻璃基板

太阳能电池组件、太阳能光伏发电以及光热一体化产品。冷氢化、三氯氢硅合成、反歧化、大型节能精馏、高效还原等核心技术,N型单晶。中来股份 5GW的N型双面电池，N型双面Topcon(隧穿氧化钝化
)电池，是光伏行业广泛认可的一个高效技术方向，具有易兼容现有n-PERT产线、改善PERC电池背面电流集聚现象、显著降低电极接触区域复合速度、获得更高Voc等优势。英威腾研发技术包括矢量变频器，在

铝背场技术升级到PERC(钝化发射极背面接触)技术。首先，这是正常的技术进步：只需增加两道工序即可对现有系统进行升级，从而将太阳能电池片的输出功率提高1%(绝对数)或5%(相对数)。铝背场技术的
重要特征在于一开始必须对电池片背面进行全面钝化，而升级后就不再需要这一工序。起钝化作用的介电层同时充当内部镜面，用于反射从正面射入电池片内的长波光。这种电池片在生产时可以同时完成全面金属化和背面辅栅印刷

良好的传导性，因而TOPCon电池具有高的开路电压和填充因子。2015年FraunfhoferISE采用N型区熔硅片，正面采用金字塔制绒，硼扩散，氧化铝加氮化硅叠层膜起钝化和减反作用，背面采用
扩散发射极，氧化硅/氮化硅钝化减反射层和金属电极;背面依次为隧穿氧化层，掺杂多晶硅层，氮化硅钝化减反射层和金属电极。 3研究结果与讨论 3.1 SiOx/polySi钝化性能研究取

发射极，方块电阻为90～98 / □; 3) 刻蚀及去磷硅玻璃层(PSG); 4) 硅片背面沉积Al2O3 和SiNx 钝化膜：Al2O3 薄膜厚度20 nm，SiNx 薄膜厚度130 nm
; 5) 硅片正面沉积SiNx 减反射膜：SiNx 薄膜厚度78 nm，折射率2.08; 6) 硅片背面激光开窗：180 根线，线宽为40 m; 7) 印刷电极; 8) 高温烧结; 9) 测试分选

相比，PERC电池的优势主要有两个方面：(1)内背反射增强，降低长波的光学损失;(2)高质量的背面钝化，这使得PERC电池的开路电压(Voc)和短路电流(Isc)较之常规电池有大幅提升，从而电池转化效率
威尔士大学合作开发氢钝化技术，能将多晶PERC电池片光致衰减比率降为零。 2017年7月，上海尚德成功开发P型双面PERC电池和组件产品。双面PERC电池正面电池转换效率达到21.4%以上，同时背面

PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)，即钝化发射极和背面电池技术，最早在1983年由澳大利亚科学家Martin Green提出，目前正在成为太阳电池新一代的
情况下实现双面发电，在系统端实现10%-25%的发电增益，极大地增强了PERC技术的竞争力与未来发展潜力。 PERC电池生产流程概述流程 PERC 电池的生产流程包括：沉积背面钝化层

单面镀膜SiNx∶H钝化，以及背面电极、背面电场和正面栅线电极印刷，最后经过高温烧结形成较好的欧姆接触。利用苏州中导光电设备有限公司生产的红外缺陷测试仪EL-S01对生产线上电池片进行测试
，如图2(a)和(b)所示，可见黑斑位置并不确定、形状似圆形、而非规则的圆点或同心圆。利用太阳电池分选机测试实验电池片的电学性能参数，如表1所示。表中，黑斑电池片的串联电阻Rs和FF因子

PERC到底是个什么GUI? 一起探讨PERC技术研究与发展趋势吧什么是PERC电池? PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)，钝化发射极和背面电池技术
Degradation，LeTID)。多晶PERC的LeTID比多晶Al-BSF电池高6%~10%左右。多晶PERC电池的LeTID与B-O对无关，表现为掺Ga不起作用;与体内的复合有关，而与表面钝化特性

温度，使电池片EL区域发暗得到解决，同时还提升了电池片效率。 1 影响并联电阻的因素分析 1.1 PERC 电池钝化发射极背面接触(Passivated EmitterRear Contact
，PERC) 电池是一种发射极与背面双面钝化的太阳电池。通过ALD技术，在电池片背表面沉积一层Al2O3，然后再使用等离子化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical

技术的太阳电池结构示意图。图1 为常规太阳电池结构示意图，常规太阳电池的制备工艺简单、成本较低，但和其他硅基太阳电池技术相比，其转换效率较低。 PERC 太阳电池，即钝化发射极及背面
，PERC 太阳电池在生产上相对容易实施，只需在常规太阳电池的制备工艺中增加2 个工序：沉积背面钝化叠层和背面钝化层激光开窗。对银浆而言，电阻小、高宽比大、降低银含量、玻璃粉无铅化是未来的发展目标。综上所述

技术在效率提升方面站在了有利于单晶的这一边 Perc(钝化发射极背面接触技术)是近些年来由隆基股份主导推动产业化应用，能大幅提升光伏电池效率的技术，由于只需要增加8台设备(每台设备约2000万元
会更进一步提升至70张)，而多晶为59片(出片量数据均包含B片)。由于单晶的“长晶”成本更高，更细的金刚线带来的出片量的提升明显更有利于单晶硅片的成本降低，所以我们现在看到的就是：单晶企业普遍

RearTotally-Diffused Cell，钝化发射极背面全扩散电池) 、 HIT(Hetero-junction withIntrinsic Thin-layer，本征薄膜异质结电池)、 IBC
主要扩产在单晶硅片领域，到 2017 年底单晶硅片产能将达到 38GW： A、隆基、中环将分别达到 15GW、 8GW，双寡头格局正在形成; B、晶科、阿特斯、晶澳积极布局单晶硅片领域，各 2-3GW 的

背面形成理想的AlOx薄层外，会在正面SiNx减反层上也形成一薄层AlOx，这对正银浆料蚀刻SiNx/AlOx叠层和与发射极形成良好的欧姆接触产生了巨大挑战。对于正银浆料和双面氧化铝钝化失配最简单直接的
展览会（PV Taiwan 2017）期间宣布推出全新一代DK92正银技术平台，率先兼容包括双面氧化铝钝化在内的各类PERC背钝化镀膜技术与工艺，包括原子层沉积ALD（包括空间区隔式ALD、基于加工