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工序，即可实现 BSF 向 PERC 的转化。PERC 电池的工艺流程包括：沉积背面钝化层，然后开槽形成背面接触。相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线上额外增加钝化膜
沉积设备(PECVD 设备或 ALD 设备)和激光开槽设备即可。 PERC 核心产品为 PECVD 设备、丝网印刷等。其中，捷佳伟创的核心产品 PECVD 设备和扩散炉均为自主研发，采用的核心技术

导电膜，最后在TCO上丝网印刷电极，再固化，光再生，就制成了HIT电池。因此从工序上来讲，HIT电池核心工序就4步，清洗制绒、非晶硅镀膜、沉积TCO、丝网印刷，是所有电池工艺中步骤最短的。 2
/千克左右。当前靶材成本约5分/瓦，未来需求放量之后有望降到3分/瓦。 丝网印刷：低温银浆。HIT由于是低温工艺，PERC所用高温银浆不能应用于HIT电极制作，需要使用低温银浆。国内常州聚和、苏州晶银

01摘要作为新一代高效光伏电池中的佼佼者，异质结HJT电池具备转换效率高、提效空间大、发电能力强、工艺流程短等多重优势，目前正受到产业资本的高度关注。我们在HJT电池转换效率23.5%、25年
平台级技术，技术与工艺的延展性拓展提效空间：除提升自身性能之外，HJT电池可通过与其他技术路线或工艺的叠加提高转换效率。目前结合IBC结构的HBC电池已实现实验室26.63%的转换效率，与钙钛矿组成的

。当前靶材成本约5分/瓦，未来需求放量之后有望降到3分/瓦。 丝网印刷：低温银浆。HIT由于是低温工艺，PERC所用高温银浆不能应用于HIT电极制作，需要使用低温银浆。国内常州聚和、苏州晶银等厂商有
代替本征微晶硅层，做出的电池效率达到14.5%，并命名为HIT。三洋将HIT注册为商标，专利保护到2015年结束。 HIT摸索：1991-2015年。海内外众多研究机构对HIT工艺进行优化，对不同的

一次低温退火。图一：(a)传统SHJ太阳能电池的剖面结构图。(b)SHJ电池的主要制造工艺步骤。用于SHJ电池的硅片与所有高性能c-Si太阳能电池的情况一样，硅片质量是实现高效SHJ电池
不能承受高于200-250℃的工艺温度，此时来自异质结内表面的氢气渗出会对电池性能产生不利影响。由于这个原因，通过丝网印刷对SHJ电池进行金属化时需要使用低固化温度(LCT)银浆，这是目前用于金属栅格

，23%左右是可见的量产瓶颈。而异质结电池当前量产平均效率普遍在23%以上，产线最高效率甚至达到24%，未来更有望达到25%。同时，异质结电池整个生产过程仅需四个生产环节，最高工艺温度不超过200
℃，可使用130m甚至更薄的硅片，在设备和材料上降本空间大，未来将最更具成本优势。基于无B-O光衰减、无LeTID，较低的温度系数(基本只有晶硅同质结电池的一半左右)、高双面率、弱光响应优异等特点

接触电阻和背场体电阻组成。其中，在丝网印刷工艺下，前栅接触电阻、体电阻和扩散层薄层电阻对串联电阻贡献最大。根据金属-半导体接触电阻理论，接触电阻与金属势垒(barrier height)和表面
代替磷酸作为laser doping的磷酸; (2) 采取丝网印刷制作电极，避免电镀工艺。由于印刷工艺对线间距的限制，浅扩层方阻不能高于100/sqr。该方案的优点是工艺步骤少，除激光外无需增加

、硅片体电阻、背电极接触电阻和背场体电阻组成。其中，在丝网印刷工艺下，前栅接触电阻、体电阻和扩散层薄层电阻对串联电阻贡献最大。根据金属-半导体接触电阻理论，接触电阻与金属势垒(barrier
工艺的稳定性要保证，在几百m宽的区域激光开槽所带来损伤层，需清洗干净。可用其他开槽方式代替激光，如丝网印刷刻蚀膏，或材料打印机打印刻蚀液(氟化铵)等; 二、硅片需经历氧化和扩散两次高温过程，高温损伤比

数据，由Fig.3-5b图可知电池片左下角黑色区域的电压高达440mV，腐蚀掉正面电极及氮化硅薄膜后扫描方阻(Fig.3-5c)后明显看出黑色区域的方阻比其他区域偏高，导致此区域与现有烧结工艺不匹配而
成因，利用这些检测手段和分析结果，能够及时有效地反馈生产过程中产生的缺陷类型，有利于生产工艺的改进和质量的控制。 1、引言在大规模应用和工业生产中,晶硅太阳能电池占主导地位，其在制造过程中通常

摘要：丝网印刷线在生产过程中产生了间歇性串阻偏高、效率偏低的现象，EL测试图像部分区域呈现黑雾状，针对此问题从烧结炉和丝网工艺2个方面进行分析，解决了该问题。烧结是太阳能多晶电池片成为成品的最后
一道关键工序，其决定着太阳能多晶电池片的效率和合格率，而烧结炉直接影响着烧结工艺的成败。本文着重分析研究了由于烧结炉引起的烧结EL不良现象。 1丝网印刷烧结工艺烧结就是将印刷了浆料的硅片经过烘干

来源：摩尔光伏摘要：优化设计太阳电池的电极图形可以获得高的光电转换效率。文中以实例介绍了晶体硅太阳电池上丝网印刷电极的优化设计，讨论了电池的功率损耗与扩散薄层电阻及细栅线宽度的关系，在原始设计的
(11)要想得到最佳栅线设计可通过简单的迭代法实现。方法为：给定一个工艺上可实现的值，对式(11)用实验值代入求得一个S0值，取S1=S0/2为初试值，然后按照牛顿迭代法进行迭代计算。这个过程

摘要：丝网印刷工艺中借助悬浮网板印刷起始边的抬头功能，保证浆料脱离角度的一致性并提高网布脱离速度，进而提升电池片印刷质量，有效降低网板粘片率;通过悬浮网板印刷终止边的下探功能，降低网布形变量，有效
和旋转运动。灵活的网板运动特性为丝网印刷工艺优化提供了目前设备不可想象的灵活性。悬浮网板灵活的高精度运动特性为适应各种不同材料、张力和尺寸的新型网板、新型浆料和新型电池片提供了兼容未来的硬件基础。

要4-5微米。金属化工艺对于PERC电池，其金属化工艺仍可采用丝网印刷工艺，但由于PERC电池的背面结构发生改变，对导电浆料的性能提出了不同于常规电池浆料的要求。在背面局部金属化阶段，会遇到铝

摘要：p型单晶硅太阳电池在el检测过程中，部分电池片出现黑斑现象。结合x射线能谱分析(eds)，对黑斑片与正常片进行对比分析，发现黑斑片电池与正常电池片大部分表面的成分相同，排除了镀膜及丝网印刷
了杂质引入的原因以及解决途径，从而显著减小了黑斑片产生的几率。 0 引言晶硅电池组件广泛应用于光伏发电行业并形成相当大的产业规模，提高电池转换效率、减少电池的不合格率、优化生产工艺技术是降低

，单晶PERC的光衰主要与电池中B-O对有关，此类衰减可通过降低硅片中氧含量、掺Ga、光照+退火等工艺消除。图二单晶PERC电池的LID衰减和恢复机理图三国产PERC电池的光照恢复
金属接触，有效降低背表面的电子复合速度，同时提升了背表面的光反射。 PERC电池实验室制备采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术，而产业化PERC工艺采用了PECVD(或ALD)法钝化、激光开孔

高效的新型晶体硅太阳电池。其主要优势有：1) 采用低温技术，整个烧结工艺可在200 ℃左右完成，减少能耗，降低成本;2) 光电转换效率高;3) 稳定性好，没有形成B-O复合体而导致的光衰效应
。 02硅基太阳电池用正银浆料 2.1 正银浆料在太阳电池中的作用正银浆料是通过丝网印刷将银浆印刷在晶体硅片上，然后经过烘干和烧结工艺在硅片表面形成电极或电路。在光照条件下，硅片中的p-n