同时实施氧化与还原
(1)中的扩散阻挡层由厚度为5~10nm的氧化物构成。不仅可防止铜扩散,而且还具有导电性以及与铜膏的高密着性(图1)。由于很薄,因此对太阳光的透射率几乎没有影响。目前的扩散阻挡层是将硅晶圆浸入溶液状的材料后,在500℃左右的温度下烧结形成的。
图1:涂布扩散阻挡层后印刷铜膏
东北大学开发出了太阳能电池使用的铜膏材料。在硅晶圆上涂布扩散阻挡层后,印刷铜膏形成布线。(照片由东北大学提供)
同时实施氧化与还原
(1)中的扩散阻挡层由厚度为5~10nm的氧化物构成。不仅可防止铜扩散,而且还具有导电性以及与铜膏的高密着性(图1)。由于很薄,因此对太阳光的透射率几乎没有影响。目前的扩散阻挡层是将硅晶圆浸入溶液状的材料后,在500℃左右的温度下烧结形成的。
图1:涂布扩散阻挡层后印刷铜膏
东北大学开发出了太阳能电池使用的铜膏材料。在硅晶圆上涂布扩散阻挡层后,印刷铜膏形成布线。(照片由东北大学提供)
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