上海/罗伊特林根，2012年5月16日——高科技产业整合解决方案供应商Manz隆重参展SNEC 2012第六届国际太阳能产业及光伏工程（上海）展览会暨论坛 (展位：E3馆，310)，推出了其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备：IPSG CEI 4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层，进而产生化学边缘隔离（CEI），还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）。“ 得益于新的湿制程设备，我们实际上将Manz之前已经建成的光伏制程工艺加工链更加紧密地连接了起来。将更多的加工步骤整合到一台设备，最终将帮助客户降低每瓦制造成本”， Manz首席执行官Dieter Manz先生说道。
正如IPSG CEI 4800的名称所示，其产量每小时最高可达4800片。最新研发的海绵滚轮工艺实现了更快的直进式输送，不仅能平稳地传送硅片，同时还能确保更高的制程稳定性。“通过额外的优化措施，我们甚至可以将产量提升到每小时5000片”，Manz晶体硅部门的项目经理Kari Raudasoja先生表示。在试运行中，甚至在自动化操作情况下，该新型湿制程设备的破片率不高于0.1%。该设备配有磁耦合系统，可将齿轮、驱动器与化学药品彻底隔离。新的IPSG CEI 4800运用模块化设计，易于维护并易于与其他模块或零部件进行组合连接。因此，该产品运行时间更持久，性价比也更高。
这一设备将会与用于装/卸载硅片的Manz SpeedPicker进行捆绑销售。昨天，Manz位于苏州的新工厂举行了开业庆典，IPSG CEI 4800也将在该工厂正式投产。凭借着20年来在印刷电路板（PCB）和平板显示器(FPD)湿制程领域积累的丰富经验，以及占地16,000平方米的新工厂，Manz将以更有效率的服务为重点客户提供兼具当地价格与德国品质的高性价比产品。据悉，Manz还将相继推出新式真空镀膜设备和制绒设备，致力成为全制程光伏设备的供应商。
图1. Manz最新的湿制程设备：IPSG CEI 4800
图2.PSG去除过程：去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃层
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