近日，我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ＰＥＣＶＤ）在上海成功下线，这被视为中国在新能源高端装备领域取得的“零的突破”。“中国制造”的ＰＥＣＶＤ性能领先于国外同类产品，但价格大幅低于后者，国内薄膜太阳能电池产业化进程有望提速。
ＰＥＣＶＤ首次国产化使其产业化有望加速
创造这一突破的是注册在浦东张江高科技园区的理想能源设备公司。据该公司总经理钱学煜介绍，一片“１．１米×１．４米”的普通平板玻璃完成导电层覆膜后，进入ＰＥＣＶＤ反应腔，完成化学气象材料叠层结构的覆膜，厚度增加了两个微米，即成为转化率可达１０％的薄膜太阳能电池。
２００９年８月，留美博士钱学煜与２０多名曾在国际一流企业有过丰富经验的设备、工艺和管理专家成立了理想能源公司。一年多的时间，该公司相继完成了ＰＥＣＶＤ首台机的研发、中试、下线，并申请了１０多项核心技术专利。
据介绍，该设备采用了创新的超高频射频技术，精密的真空和温度控制技术，快速的自动传输技术以及多腔多片的反应腔系统等，大大提高了产能，其产品性能优于国际一流设备，但价格远低于同等的进口设备。
钱学煜说：“从国外进口一台这样的设备要两三亿元人民币，我们自己生产的大概只需1亿元左右。一台设备年产能约有１５兆瓦，3台设备便可组成一条年产能近５０兆瓦的生产线。”
工业和信息化部装备工业司副司长李东表示，高端薄膜太阳能电池关键生产设备的研制成功，为我国新能源产业下一步的发展奠定了坚实基础。
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