Veeco公司新款表面台阶仪将助力太阳能电池制造

来源:SEMI发布时间:2007-05-22 10:20:12

据BusinessWire网站报道,半导体设备供应商Veeco公司近日表示,其最新款表面台阶仪Dektak 150已发货与PrimeStar Solar公司,一家新兴的为太阳能电池市场提供太阳能模块的厂商。

Dektak 150具有极高的薄膜测量分辨率,能够测量10nm甚至更薄的薄膜,来满足太阳能电池制造需求。

PrimeStar公司光伏技术总监Fred Seymour博士表示,Veeco公司的Dektak 150设备具有精度高、性能多样及明显的价格优势。在扩产过程中,我们将依靠Dektak来校准薄膜涂层。

Veeco公司光学部门副总裁兼总经理John Wissinger表示,我们相信Dektak 150能够提供最好的重复性测量、灵活的应用以及简便的操作,同时非常高兴能够以此来支持PrimeStar Solar公司光伏事业的发展。Dektak可以监控表面粗糙度,表面状况对光吸收过程中光子吸收很关键,会影响太阳能电池效率。

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