PECVD

获得了后来被称为Day4Electrode的专利技术。该技术对传统电池工艺的革新体现在金属化和互连两个工艺中，电池在PECVD减反射镀层后网印细栅，而后不网印主栅，而是将一层内嵌铜线的聚合物薄膜覆盖在电池

纯工艺系统的设计、加工制造、安装与配套工程，以及检测、厂务托管、标定和维护保养等增值服务。主要应用于电子行业的掺杂、光刻、刻蚀和CVD(化学气相沉积)，包括MOCVD\PECVD成膜等工艺环节和

，2011年1月8日，中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备--等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD）在上海张江高科技园区的理想能源设备公司成功下线，并进入正泰太阳能薄膜电池生产线。这被
视为中国在新能源高端装备领域中"零的突破"。这不仅是国内的零的突破，更是国际上价格比的突破。中国造的PECVD性能领先于国外同类产品，价格大幅低于后者，国内薄膜太阳能电池产业化进程有望提速。该设备采用

纯国产化全自动高效率组件生产线，产品远销东南亚等地。HBI近几年持续向行业推出了全自动组件焊接设备、全自动光伏组件生产线、全自动高温扩散氧化炉、PECVD镀膜设备、类单晶铸锭炉、硅料精炼提纯系统、炉膛
Shocklcy Read Hall（SIm）理论来解释，减少表面复合的两个基本原理是：一是减少表面态密度（Dit）；二是减少表面的自由电子或空穴的浓度。 　　传统PECVD镀膜方法具备一定的钝化

机、扩散炉、蚀刻设备、PECVD、丝网印刷设备、压层机、测试仪、单串焊台、划片机等。 明显的后周期性。光伏行业属于充分竞争市场,尽管行业集中度上近期大幅提升,但民营、充分竞争性和行业属性(光伏成本

机、扩散炉、蚀刻设备、PECVD、丝网印刷设备、压层机、测试仪、单串焊台、划片机等。明显的后周期性。光伏行业属于充分竞争市场，尽管行业集中度上近期大幅提升，但民营、充分竞争性和行业属性(光伏成本持续下滑)的

领先主打产品扩散炉和PECVD系列外，丰盛装备首次对外展示了2014年的全新产品石墨舟自动装卸片机。据悉此款自动装卸片机采用全新概念，摒弃传统的机械手方式，在为用户大幅降低采购成本的同时，也以更低的
装备本次展会分享的另一个亮点是国内最佳管式PECVD PID-FREE技术解决方案，改造后的组件严格按照双85的要求连续测试96小时，多晶电池片的效率衰减可控制在0.1%以内，截止展会前夕，由丰盛

20至22日于上海举办的SNEC第八届国际太阳能产业及光伏工程展览会 (SNEC PV POWER EXPO)。Manz新一代生产工艺采用VCS 1200电浆辅助化学气相沉积(PECVD)垂直式
、激光加工、湿化学处理以及真空镀膜相关的生产工艺和设备，同时还可提供自动化解决方案以及测试与检验方面的专业知识。图1. VCS 1200电浆辅助化学气相沉积(PECVD)垂直式真空镀膜系统可用于在电池

第八届国际太阳能产业及光伏工程展览会 (SNEC PV POWER EXPO)。 Manz新一代生产工艺采用VCS 1200电浆辅助化学气相沉积(PECVD)垂直式真空镀膜系统在
，VCS 1200系统使得PECVD层可以实现单面沉积，而不会出现另一面也有边缘沉积的情况。Manz的高性能PECVD工艺技术保障了最佳的加工再现性，以及业界最高的太阳能电池效率和均匀性。由于该系统的