PECVD

，SiNx膜被制备在硅的表面起到两个最用，其一是减少表面对可见光的反射；其二，表面钝化作用。PECVD技术的分类用来制备SiNx膜的方法有很多种，包括：化学气相沉积法（CVD法）、等离子增强化学气相沉积
（PECVD法）、低压化学气相沉积法（LPCVD法）。在目前产业上常用的是PECVD法。PECVD法按沉积腔室等离子源与样品的关系上可以分成两种类型：直接法：样品直接接触等离子体，样品或样品的支撑体就是

钝化层，其反射光，否则光将会损失，有效提高可以被捕获并转化为电能的光的量，使转换效率超过20%。该层通常通过PECVD或ALD工艺形成。 最近，中国制造商无锡尚德的总裁熊海波在接受采访时表示，其

钝化层，其反射光，否则光将会损失，有效提高可以被捕获并转化为电能的光的量，使转换效率超过20%。该层通常通过PECVD或ALD工艺形成。最近，中国制造商无锡尚德的总裁熊海波在接受PV-Tech采访时表示

SiO2钝化电池表面，并取得不俗的开路电压和效率。SiNx：H 第一次进化90年代，科研机构和制造商开始探索使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备含氢的氮化硅(SiNx：H)薄膜用作电池
采用普通金字塔制绒，硼扩散，ALD氧化铝加PECVD氮化硅钝叠层起到钝化和减反射效果。背面采用上述TOPCon技术，正反金属化采用蒸镀Ti/Pd/Ag叠层实现，电池开路电压达到690.4mV，填充因子

低下，其锗硅合金生产线比欧瑞康非微双结低1%以上。主要设备PECVD，在两年使用期内便发生严重变形现象，其长期运行可靠性低。汉能考察小组认为，铂阳太阳能生产线转换效率低下，主要设备PECVD长期运行

一个里程碑。这清楚地表明对于光伏市场大规模生产的设备准备就绪。ALD与PECVD和APCVD沉积技术竞争，为PERC结构中电池前后面的表面钝化提供严格规定厚度的Al2O3。较严格的沉积控制可以生产较高效率的电池。财务细节尚未公布。

太阳能电池。存在负电荷Al2O3的低电阻率P型硅通过良好的背钝化，转换效率已经达到 20.6%。其中最优工艺是30nm的Al2O3薄膜上覆盖着200nm通过等离子增强化学沉积（PECVD）的硅氧膜
钝化替代品需要拥有和SiO2相同的特性，这是在未来工业生产晶体硅高效太阳能电池所必须的。另一种主要研究的替代品是氮化硅（SiNx），一般用化学汽相淀积（PECVD）法在约400℃时生成，而且在P型硅上

处理，量测处理等。Manz在湿法蚀刻的槽体里面提供PECVD上下料系统。接下来，在后端的丝网印刷环节，Manz还会提供一次丝网印刷或者两次丝网印刷工艺技术的支持。最后一站的分选环节，分选机需要做影像处理
、做电性的量测和一些破片的检测，这些都是由Manz技术团队来做。IN-JEA LEE说。目前，Manz也拥有了PECVD技术、激光开孔技术、还有背面抛光的湿法蚀刻技术，这些设备是目前Manz在晶硅

、去PSG、PECVD、印刷/烧结/测试等多个环节。每一个环节必须严密、精细，才能确保光伏组件产品的优良特性。 怎样制造优质能源产品 如何做到严密精细、优质的产品是怎样制造出来的？5月4日
记者作了专业的权威解读：在层压前，电池片要经过制绒、扩散、去PSG、PECVD、印刷/烧结/测试等多个工艺环节 制绒：将金属硅片放入特定浓度的溶液里，对硅片表面形成同向腐蚀，得到蜂窝状结构的减反射

。该订单包含了420台PECVD设备及90台PVD设备（分为三批交付，每批生产周期为6个月）,金额相当于2009财年太阳能设备销售收入的62.8倍。2011年8月，从大股东汉能获得59.5亿美元（折合