PECVD

PERC+环节通过与客户深度合作已取得突破;在高效HJT环节，包括RPD系列和先进PECVD在内已具备电池设备整线交付能力。尤其是公司自主研发的RPD系列设备能够在常规HJT的基础上为高效HJT带来保守

本篇报告认为设备是解决 HJT 效率提升和成本下降两大产业化难题的关键点之一，结合 HJT 电池的制造特点，通过梳理主流厂商 PECVD 和 PVD 设备的工艺技术路线、设计理念和发展现状，探究了
HJT 设备产业化的发展潜力， 认为通过多角度挖潜，PECVD 和 PVD 设备降本提效仍具挖潜空间，看好国产设备厂商与下游电池厂商共同推进 HJT 产业化到来。 HJT 设备产业化：量产稳定性

及PECVD设备生产线建设，同时将募资25.03亿元用于提升公司在PERC+电池设备和HJT电池设备产能，加速扩产新工艺设备抢占市场。 三季度业绩大幅提升 今年捷佳伟创顺应行业发展的方向，陆续升级
增长60.14%、20.31%。公司持续跟进湿法黑硅(MCCE)、背面钝化(PERC)、N型双面、非晶硅/晶体硅异质结(HIT)等高效晶硅电池工艺、管式PECVD镀膜工艺、氧化铝二合一工艺等研发，公司PERC+

Al2O3介质膜产业化制备技术不断成熟，PECVD、ALD等镀膜设备 出现后，厂家开始导入并快速扩张产能。 HIT设备投资较高，非晶硅镀膜占主要价值。HIT的制作工艺相较于传统电池技术大大 简化

这一路线开发，就得聚焦关于异质结的生产工艺及相关设备。 就设备国产化上，由于PECVD是HJT电池生产过程中的核心设备，其价值量在整条生产线中的占比高达50%~60%。为了降低设备成本，国内企业积极
开发异质结电池PECVD设备。并且，由于HJT电池产线需要用到的CVD(化学气相沉积)设备和PVD设备，相关设备已在其他领域进行应用，要拿来应用到异质结电池生产上不会有太大的技术难度。 虽然设备的

、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式PECVD、印刷机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测及自动化设备等已有不同程度的出口。 硅材料加工设备主要有多晶铸锭
、扩散炉、在线湿法刻蚀机、背钝化、PECVD、激光开槽、丝网印刷机以及测试分选设备。目前，我国光伏电池设备制造企业通过工艺与装备的创新融合，以提高设备产能、自动化程度及转换效率为目标，同时适应大硅片生产

制绒、扩散、PECVD、焊接等步骤;下游主要指各种光伏发电系统。 去年以来，光伏企业经营整体向好。今年上半年，A股55家光伏公司实现营业收入2431.35亿元，较去年同期的2164.86亿元增长

、切片等过程;中游包括将硅片加工成组件的制绒、扩散、PECVD、焊接等步骤;下游主要指各种光伏发电系统。 硅料有光生伏特效应，在光照下可以产生电流发电，是太阳能电池运行的基本原理。 尽管国内多晶硅产能

首家采用国际最先进的清洗制绒机、PECVD非晶镀膜机、PVD沉积导电膜机和电极印刷机，匹配自主研发的高效工艺技术路线，产品三十年无光衰，项目为黑灯柔性智能无人车间，全部采用物联网+管理系统的高智能无人
PECVD及一套丝网印刷线，产能8000片/时)和两套合计0.6亿元的PVD设备订单(合计产能13500片/时)，理想万里晖中标一套0.55亿元PECVD设备(产能4000片/时)，苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。

于PERC产线2.5亿元/GW的投资成本来说，异质结高达6～8亿元/GW左右。标准化、规模化、高产能是异质结的发展关键，而占设备总投资额比例最多的PECVD设备更是降本提效关键中的关键，，宋毅锋补充道