PECVD
，PERC产线升级简单，在常规电池生产流程中增加两道工序即可完成，需要增加的设备是背部钝化膜生长设备(PECVD)和激光开槽设备。大族光伏装备的激光开槽设备已形成批量销售，并获得客户的一致认可。如今
，大尺寸硅片导入引发了装备再次升级，大族光伏装备借机扩大业务版图，增强研发实力，完成PECVD、扩散炉等关键核心设备的研发生产与销售。
此次大族光伏装备加大研发投入、壮大研发团队，是公司战略全面升级的需要
? 一般来讲CVD占50%，PVD占比20%，丝印15%，清洗制绒7-10%，迈为的自主的PECVD、PVD、印刷是占到90%，清洗制绒我们参股的公司是30%，我们在整线中的占比达到95%。 今年
疑虑。 技术助推HJT电池全面产业化 (金石装备PECVD局部) 钧石能源从2011年开始HJT电池技术与设备的开发，十多年来，公司已具备高效太阳电池成套设备、技术和工艺整合能力，并提
于HJT异质结高效太阳能电池量产的大产能低成本PECVD、PVD、低温银浆丝网印刷及LED光注入等核心生产设备，研发HJT高效电池及组件的先进工艺和制造技术。
自2019年1月公司的HJT
PECVD及其配套设备项目启动至今，迈为先后首创性地研制了第一代产能200MW、第二代产能400MW的PECVD设备，且通过进一步自主研发，成为了第一家实现HJT高效电池整线设备国产化的企业，为行业提供HJT
制成。从成本端看，HJT与PERC在制造工艺与生产设备最大不同之处在于非晶硅薄膜沉积与导电膜沉积环节。非晶硅薄膜沉积所需设备PECVD目前主要依靠进口，单GW设备投资额在5亿元左右，国内设备厂商钧石
爱康湖州基地产品出片速度已提升至每小时1200片，后期将逐步提升;另外产品技术方面也取得重大突破，其中PECVD工序在一定条件下电池核心性能少子寿命平均突破3.5ms(毫秒)，从而导致TCO导电薄膜
更低，长期来看代表未来电池技术的发展方向。
异质结电池制备主要涉及四大设备，分别是清洗制绒设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备，在设备投资额占比分别约 15%、50%、20%和
15%。目前国产设备厂商已快速崛起，纷纷布局 PECVD 等核心设备，将成为行业突破口。
影响设备投资额的因素为三个：一是设备配置，如TCO制备选择RPD还是PVD;二是采取进口还是国产方案
PECVD：异质结降本的关键 目前非晶硅沉积设备的主流方案是静态链式PECVD。当前静态路线和动态路线之争已有结论，各家基本采用静态PECVD方案，其他方案如HWCVD、管式PECVD、团簇式PECVD等
已经稳定运行近两年，经过持续研发改进，目前通威HJT电池最高转换效率已达到25.18%，采用的是国产设备厂商理想万里晖PECVD设备。
在设备企业的努力之下，国产PECVD设备已经具备了竞争优势。以
理想万里晖PECVD设备为例，目前已升级至第三代，设备产能达500MW/年。据该公司透露，理想万里晖生产产业链已从异质结最初的核心PECVD设备延伸至PVD设备、自动化、整线集成及交钥匙服务，量产效率
异质结组件的开发，这也是非常有前景的技术路线，目前产业生态还在进一步建立，需要一些时间和行业优秀企业的一起努力。比如基于低成本的金属化技术、高品质靶材的国产化，更优秀和低成本的PECVD等装备的国产化
