MEMS

索比光伏网讯:4月25日，SEMI国际产业标准 2011年度第三轮投票正式启动。内容涵盖了EHS，材料、设备、信息、硅片、3D、MEMS和光伏在内的十四个大项。本轮投票中，光伏领域共计8项内容，包括

供应商，提供多种刻蚀和沉积技术。Plasma-Therm系统支持各种专业市场，如固态照明、薄膜磁头、MEMS、光掩膜和化合物半导体市场。为满足全球客户群的多元化需求，Plasma-Therm在北美、欧洲和亚太设有销售、服务和备件供应点。

产业链；在集成电路领域大力发展系统级（Sip）封装、MEMS－CMOS三维集成制造平台及八英寸晶圆级封装等先进技术，全面提升竞争力；在光伏领域大力拓展光伏旁路集成模块的大规模生产和应用，进一步推动

太阳能光伏装备、LED制造设备和LCD制造设备，有选择地发展与物联网紧密相关的MEMS制造设备和高铁需要的IGBT制造设备。 在极大规模集成电路制造关键设备方面，我认为还应重点发展能够带动其他产业技术升级的

%），赛维LDK和领先能源工业（AEIS）。 给予“持有”评级的有：第一太阳能，美新半导体（MEMS，3.23，+0.62%），无锡尚德（STP，8.38，-3.12%），宝威电源。 对于天合光能

有所上升，所以公司在AGS(服务)的比例由此上升。应用材料公司的CFOGeorgeDavis表示，尽管2009年有不少200mm的产能下降，但是随着MEMS，功率晶体管，模拟器件，显示驱动器，甚至包括

厂商之一。自1980年代起即成功转投资高科技产业，包括半导体、被动元件与光学元件等领域，近年进一步投入MEMS、LED及太阳能等新世代环能光电科技产业。

测量系统用来配备其位于德国斯图加特的高科技研发中心。作为全球领先的技术和服务供应商，博世选择泽塔的三维表面成像和测量解决方案，用来满足博世一系列研发活动中关键的测量需求，包括光电和MEMS（微电子
它为用户提供了更快、更好的解决方案。 “由于选用了Zeta-200，我们能够快速、可靠地测量我们的太阳能电池和MEMS结构，这为我们带来了更高的效率和更低的制造成本，” 博世公司硅太阳能电池研究中心

传感器、ASIC、微控制器以及通信用IC等构成。根据以MEMS技术制造的加速度传感器的信息计算倾斜角。顺时针方向可检测0～90度角度的单元的检测精度为0.05度。加速度传感器方面，为了提高接近水平状态

，可以解决这些关键问题。 Rudolph Technologies宣布，德国Fraunhofer Institute for Silicon Technology (ISIT) 已为其MEMS工艺
订购了一台NSX Series Macro Inspection System。该系统将安装于ISIT 的200 mm MEMS试验线中。Rudolph的Discover 全表面缺陷分析和数