HWCVD
异质结是光伏行业的第五次技术革命。相较于传统电池，异质结电池生产工艺步骤大幅减少，主要工艺仅4步，分别为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应设备为制绒机、HWCVD/PECVD
200MW产线)。 非晶硅薄膜沉淀设备：HWCVD设备主要厂商为ULVAC;PECVD设备主要供应厂商为梅耶博格、应用材料、理想万里晖、钧石。迈为股份和捷佳伟创已有CVD产品储备，仍在试验中。国内的
工艺技术的核心，要求氢化非晶硅膜层的缺陷态密度低、折射率高且光吸收系数低。目前，国内外文献多采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备非晶硅薄膜，其他方法如热丝化学气相沉积技术(HWCVD)、常压
研究开始于1976 年，随后在全世界范围内引起了重要影响。 非晶硅薄膜太阳能电池具有质量轻，光吸收好，耐高温等特点，其中， Villar.F 等通过 HWCVD 方法制备了效率为 4.6% 的
1976 年，随后在全世界范围内引起了重要影响。非晶硅薄膜太阳能电池具有质量轻，光吸收好，耐高温等特点，其中， Villar.F 等通过 HWCVD 方法制备了效率为 4.6% 的非晶硅薄膜电池；日本
本征及掺杂的a-Si:H膜，同时热丝化学气相沉积法（HWCVD）制备a-Si:H法也被认为很有前景。PECVD法制备a-Si:H薄膜利用等离子里中丰富的活性粒子来进行低温沉积一直是a-Si:H制备的
功率，但是同时也会降低等离子体的稳定性。HWCVD热丝化学气相沉积制备a-Si:H薄膜是利用热丝对气体进行催化和分解的软性过程，不会产生高能粒子轰击，对衬底的损伤较小，可以容易的移入或者移出沉积室，能够
具有25年的经验，开发出HWCVD和VHF PECVD来制造高效低成本电池器件。 1996年，其参与发明的柔性电池的卷对卷技术，在世界领域内堪称一种全新的技术。同时，其在乌特勒支大学组建起的半导体研发
国内外光伏领域的知名专家学者。 据介绍，施罗普教授投身低成本高效率太阳能研究领域25年，在国际上享有盛誉。他致力于将新型CVD技术和新型材料应用到薄膜晶体管和太阳能电池上，开发出了HWCVD和
