ALD技术

P型晶硅背发射结，再用ALD法生长Al2O3钝化层钝化背面。外延法生长背面P型发射结技术目前仍然处理实验室研究阶段，其量产可能性还有待验证。　　图10 IMECPERT电池结构示意图
单晶组件具有弱光响应好、温度系数低等优点。因此，N型单晶系统具有发电量高和可靠性高的双重优势。根据国际光伏技术路线图（ITRPV2015）预测：随着电池新技术和工艺的引入，N型单晶电池的效率优势会越来越

平板式PECVD、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ALD）等关键工艺设备研发领域均有入围。《产业关键共性技术发展指南（2015年）》指出，产业关键共性技术是能够在多个行业或领域广泛应用，并对

暂时缓解了背面钝化的问题，但并未根除，开孔处的高复合速率依然存在，而且使工艺进一步复杂。近几年来，一种既能实现背面整面钝化，且无需开孔接触的技术成为机构研究的热点，这就是钝化接触(Passivated
Contact)技术。当电池两面均采用钝化接触时，还可能实现无需扩散PN结的选择性接触(Selective Contact)电池结构。本文将详细介绍钝化接触技术的背景，特点及研究现状，并讨论如何

供不应求，今年PREC全球产能不至于剧烈提升。展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用PECVD镀氧化铝之外，也会有厂商选用ALD技术
市场。而在各种高效产品中，PERC性价优势最优，拥有高度产业竞争力。PERC的崛起商用屋顶型、住宅型市场的火热程度和组件的输出功率密不可分。虽太阳能电池靠着硅片、导电浆技术改善以及工艺优化，转换效率逐年

，届时除了用PECVD镀氧化铝之外，也会有厂商选用ALD技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式：以现有设备搭配独特氧化铝浆料的方式呈现PERC的效果，这都将让PECVD不再
技术改善以及工艺优化，转换效率逐年持续进步，但随着分布式系统日益兴起，市场更需要性价比高、转换效率也高的产品;适时，台湾厂商旭泓和昱晶的PERC电池成功量产，开启了以PERC技术提升效率的旋风。 细数

高效产品中，PERC性价优势最优，拥有高度产业竞争力。上半年主要高效市场　　PERC的崛起商用屋顶型、住宅型市场的火热程度和组件的输出功率密不可分。虽太阳能电池靠着硅片、导电浆技术改善以及工艺优化
，转换效率逐年持续进步，但随着分布式系统日益兴起，市场更需要性价比高、转换效率也高的产品；适时，台湾厂商旭泓和昱晶的PERC电池成功量产，开启了以PERC技术提升效率的旋风。细数过去的技术历史

ALD技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式：以现有设备搭配独特氧化铝浆料的方式呈现PERC的效果，这都将让PECVD不再独霸一方。PERC技术的单多晶之争除了镀膜机台的选择

几乎不反射，只吸收，颜色也当然会是黑色。黑色的硅就是工程师们努力的目标，一般来说要制作抗反射层，需要把硅表面蚀刻出微米甚至是奈米状的粗糙结构，结构越小越细，反射率就会越低。 这项技术本身并不难做到
（Polytechnic University of Catalonia）共同发现利用原子层沉积（AtomicLayer Deposition， ALD）将氧化铝覆盖在黑硅表面作为钝化层，可以有效抑制电子在表面的损失，将

宣布这一消息，SolarWorld宣扬其是首家在生产中依靠钝化发射极背面电池(PERC)技术的公司的事实，三月开始将其约800MW的生产线升级为新的模式提升产能。 PERC架构包括电池背面的一个
钝化层，其反射光，否则光将会损失，有效提高可以被捕获并转化为电能的光的量，使转换效率超过20%。该层通常通过PECVD或ALD工艺形成。 最近，中国制造商无锡尚德的总裁熊海波在接受采访时表示，其

。日前宣布这一消息，SolarWorld宣扬其是首家在生产中依靠钝化发射极背面电池(PERC)技术的公司的事实，三月开始将其约800MW的生产线升级为新的模式提升产能。PERC架构包括电池背面的一个
钝化层，其反射光，否则光将会损失，有效提高可以被捕获并转化为电能的光的量，使转换效率超过20%。该层通常通过PECVD或ALD工艺形成。最近，中国制造商无锡尚德的总裁熊海波在接受PV-Tech采访时表示