ALD技术
创新的Olympia系统确立了应用材料公司在原子层沉积技术领域的前沿地位
独特的模块化架构可生产出各类高质量ALD薄膜，并且在不牺牲产量的前提下支持关键低温工艺
Olympia系统已被多家芯片
)系统。该系统采用独特的模块化架构，为先进3D内存和逻辑芯片制造商带来了高性能ALD技术。3D设备的兴起推动了对新型图形转移薄膜和新共型材料的需求，以及降低材料热预算的要求。在这一背景下，ALD技术
索比光伏网讯: 创新的Olympia系统确立了应用材料公司在原子层沉积技术领域的前沿地位 独特的模块化架构可生产出各类高质量ALD薄膜，并且在不牺牲产量的前提下支持关键低温工艺
layer deposition, ALD)系统。该系统采用独特的模块化架构，为先进3D内存和逻辑芯片制造商带来了高性能ALD技术。3D设备的兴起推动了对新型图形转移薄膜和新共型材料的需求，以及降低材料热
采用普通金字塔制绒，硼扩散，ALD氧化铝加PECVD氮化硅钝叠层起到钝化和减反射效果。背面采用上述TOPCon技术，正反金属化采用蒸镀Ti/Pd/Ag叠层实现，电池开路电压达到690.4mV，填充因子
暂时缓解了背面钝化的问题，但并未根除，开孔处的高复合速率依然存在，而且使工艺进一步复杂。近几年来，一种既能实现背面整面钝化，且无需开孔接触的技术成为机构研究的热点，这就是钝化接触(Passivated
Amtech Systems（NASDAQ：ASYS）旗下子公司，原子层沉积（ALD）设备专家SoLayTec日前获得两家中国光伏制造商的订单。自从2011年首次评估ALD技术以来，SoLayTec
高达22.1%的太阳能电池单元。据介绍，这是通过黑硅（Black Silicon）技术实现的。22.1%的转换效率是由德国Fraunhofer ISE CalLab确认的。该技术仍处于研发水平，不过，继松下
黑硅技术的要点是：（1）通过将表面加工成长度为0.8m左右的剑山形状，大幅减少了反射；（2）背面电极型；（3）在单元正面和背面形成防复合膜（钝化膜），从而减少了电子与空穴的载流子复合。阿尔托大学从
（Universitat Politecnica de Catalunya）的研究人员开发出了转换效率高达22.1％的太阳能电池单元。据介绍，这是通过黑硅（Black Silicon）技术实现的，相关论文已
发表在学术杂志《自然纳米技术》（Nature Nanotechnology）上。22.1％的转换效率是由德国Fraunhofer ISE CalLab确认的。该技术仍处于研发水平，不过，继松下、夏普
制造，团队具有多年的海内外半导体及太阳能设备制造经验，其自主研发的产品多次打破国外垄断，实现太阳能领域高端装备"中国造"。此次推出的用于高效电池钝化的Ideal ALD设备，是全球首款采用ALD技术的
美元。Amtech首席执行官Fokko Pentinga评论道：该季度订单继续以健康的速度增长，我们的订单处于过去三年的最高水平。我们储备的产品结构，包括PECVD、离子注入及原子层沉积系统(ALD)，是我们
中国境内外生产，我们很高兴能够全面参与该行业的选择性产能扩张及技术改造。Amtech表示，其预计财年第三季度收入为三千三百万至三千五百万美元，较上季度明显提高。然而，该公司指出，由于出货量水平提高，运营利润率略有下降，毛利率将受到收入延期的负面影响。
提升企业的盈利能力和竞争优势。 值得关注的是正泰太阳能全部采用国产设备实现了PERC电池技术的研发，其中最关键的Al2O3原子层沉积（ALD）工艺采用了理想能源设备（上海）有限公司的Ideal ALD
Cells对SoLayTec旗下ALD技术进行评估近期被Amtech系统公司收购的光伏设备企业SoLayTec表示，其与韩华Q Cells就公司ALD(原子层沉积)系统的合作日前进入了评估测试阶段
