ALD技术
了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术。PERC电池与常规电池最大的区别在背表面介质膜钝化，采用局域金属接触，大大降低被表面复合速度，同时提升了背表面的光反射。2006年用于对P型PERC电池的背面的钝化的
AlOx介质膜的钝化作用引起大家重视，使得PERC电池的产业化成为可能。随后随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向产业化。2013年前后，开始有厂家
实验室制备，采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术。PERC电池与常规电池最大的区别在背表面介质膜钝化，采用局域金属接触，大大降低被表面复合速度，同时提升了背表面的光反射。2006年用于对P型PERC电池
的背面的钝化的AlOx介质膜的钝化作用引起大家重视，使得PERC电池的产业化成为可能。随后随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向产业化。2013年前
镀膜技术 根据Plasma的产生方式，又可以分为电感耦合等离子体增强ALD(ICP-ALD)、电容耦合等离子体增强ALD(CCP-ALD)及微波等离子体增强ALD(MWP-ALD
领先地位。泰州中来光电科技有限公司总经理刘勇先生介绍说：中来光电能获得如此卓越的成绩，离不开微导公司的ALD原子层沉积薄膜钝化技术的支持。
隶属于先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司是一家年轻的
锂离子电池等多个工业领域。微导专门为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。与传统的铝背场电池相比，微导光伏技术适用于多种高效晶硅太阳能电池生产线的新建、改造和升级
太阳能电池技术提供高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。微导RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。 4月19-21日，江苏微导纳米装备科技
高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。微导RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。4月19-21日，江苏微导纳米装备科技有限公司将首次亮相SNEC上海国际光伏展，并进行ALD和RIE设备的产品发布。欢迎客户前来洽谈咨询。
2017年新春伊始，江苏微导纳米装备科技有限公司专门为新型高效太阳能电池量身打造的，完全具有自主知识产权的ALD原子层沉积薄膜钝化技术就传来了令人振奋的好消息。经过4个月的昼夜奋战，经过此技术钝化
设备可以为苹果、华为等高端智能手机进行测试。同时，无锡先导投资发展有限公司正在与新吴区旺庄街道洽谈基于原子层沉积技术的ALD微纳器件制造项目及云计算数据中心项目。该项目拟用地面积200亩，总投资25
的成功展示。除了我们用于扩散的庞大安装基础，我们安装基础与储备的结合现在还包括2GW的PECVD系统和数百兆瓦的ALD PERC系统。我们对于当前和下一代太阳能电池的设计的技术解决方案令人信服，其中
Fokko Pentinga先生评论道：该季度，我们在扩大我们提供服务的市场方面取得了巨大进展，成功推出我们的新一代PECVD和ALD系统，其中包括在世界最大的太阳能展会、上海新能源行业协会(SNEC)上
太阳能光伏发电是新能源的重要组成部分，近年来在国内外受到了高度重视并迅速发展。光伏发电的核心技术晶体硅电池技术也在取得持续进步。钝化发射极及背局域接触电池（PERC）最早是由新南威尔士大学研发的
的硅片原始厚度为180~190m，硅料消耗成本大幅降低，极大地促进了光伏产业的迅速发展。采用金刚线切割技术可以切割出厚度为100m的硅片，将超薄电池的工艺技术又推进了一步。Jan Hendrik
