ALD技术

耗量，深度集成的自动化上下料确保了0.05%以下的碎片率，极大的降低了实际使用成本。其最核心的ALD原子层沉积工艺可以在薄膜厚度低至2纳米时依旧对电池表面提供良好的钝化，这是其它技术从原理上就无法达到
的条件，在核心技术上达到了国际第一梯队的领先水平。 在不断增加的高效率、低成本晶硅太阳能电池市场需求驱动下,微导为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。与传统的铝

索比光伏网讯:前言:价值何在？硅基叠层电池技术一直都是量产商用电池实现30%甚至35%超高光电转换效率的最重要的方向之一（如果不是唯一方向的话）。理论上讲带宽匹配、叠层界面匹配都没什么毛病；经济上讲
晶体硅衬底没有敌手。在之前的7月份，兔子介绍过钙钛矿/晶硅叠层电池技术方向的最新进展，也就是斯坦福和亚利桑那州立大学联合报道的23.6%的钙钛矿/晶硅四端口叠层电池世界纪录。这次兔子通报的最新进展，是

系列-板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统板式空间CVD和ALD技术完美结合高质量单面镀Al2O3钝化膜高产能、低生产成本与黑硅技术相结合，为进一步增强PERC转换效率提供了最佳解决方案WR系列-板式

%），电池结构如图10所示。正面为N型前表面场，背面为通过外延法生长的P型晶硅背发射结，再用ALD法生长Al2O3钝化层钝化背面。外延法生长背面P型发射结技术目前仍然处理实验室研究阶段，其量产可能性还有
空间，同时，N型单晶组件具有弱光响应好、温度系数低等优点。因此，N型单晶系统具有发电量高和可靠性高的双重优势。根据国际光伏技术路线图（ITRPV2015）预测：随着电池新技术和工艺的引入，N型单晶电池

随着国家政策指向及市场需求对于电池效率提出了越来越高的要求，高效电池技术受到的关注度进一步提升。其中PERC(Passivated Emitterand Rear Cell)电池最早起源于上世纪
验室研究的PERC电池创造了转换效率25%的世界纪录，由此获得了世界范围内的广泛关注。 经过二十多年的发展，随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向

功率保证保险。 中来股份自专注高效光伏电池与组件以来，始终立足于创新技术的研发与应用。通过采用离子注入、硼扩散、ALD钝化与新一代二次印刷多种技术的叠加，中来成功研发出了正面转换效率大于22%的
单晶硅N型双面电池，背面转化效率则超过19%，60片电池组件正面可输出功率330W，背面可实现10%~30%的发电量增益，综合输出功率可达380W。N型双面技术极大地拓展了晶硅电池的应用空间，并使度电成本

索比光伏网讯:隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ALD）技术
，在不到一年的时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，并于今年2月份在客户端获得了超21%的平均转化效率。另外，专门为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的

索比光伏网讯: 隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积(ALD)技术
，在不到一年的时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，并于今年2月份在客户端获得了超21%的平均转化效率。另外，专门为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的