黑硅

金刚线切片技术在多晶领域的应用与进一步提升造成障碍。虽然目前部分多晶制造企业研发采用的反应离子刻蚀(RIE)或湿法黑硅技术能够解决多晶金刚线切割硅片的制绒问题，但需要增加额外的设备投资、水电、原料

黑硅在很宽的波长范围内具有反射率低、接受角广的优点，在太阳能电池领域倍受关注。本文将黑硅制绒工艺应用到N型硅基体上制备成的太阳电池效率高达18.7%。在N型黑硅表面可以制作高浓度硼掺杂的发射极且不
影响黑硅表面的光学特性，然后在黑硅发射极表面原子层沉积Al2O3，起到优异的表面钝化效果。　　1.引言黑硅表面有纳米级小山峰，反射率很低。通过优化反应离子刻蚀（RIE）工艺的参数来制作黑硅，由于其在很宽

技术部总监宋峰兵博士告诉笔者，目前量产的P型常规单晶、P型常规多晶、PERC单晶以及RIE多晶四个品类电池和组件均保持在业内最高转换效率。晶澳全球率先推出PERC单晶电池和组件，全球率先推出黑硅多晶电池

等离子体浸没离子注入法成功制备出具有不同绒面结构的多晶黑硅。利用原子力显微镜（AFM）、分光光度计和量子效率测试仪分别对黑硅的表面结构、反射率和内量子效率进行了分析研究。研究结果表明，使用不同制绒条件在黑硅

的目标。重要方向包括流化床法多晶硅生产工艺，先进硅片切割技术，新型高效光伏电池（PERC、N型、HIT电池），浆料及栅线技术，干法制绒（黑硅技术），多层层压技术，双玻组件，以及光伏系统集成技术等

力量。新的技术路线如硅烷法颗粒硅、金刚线切多晶硅、黑硅技术、PERC电池等要加快推广和应用。 为加快先进技术的应用，上下游企业之间、不同地区的企业之间要加强技术合作，增进协同与

多晶金刚线硅片制绒技术难题。在金刚线切片技术上，单晶硅片已占有领先优势，但是阿特斯的湿法黑硅技术为金刚线线切在多晶切片领域的大面积推广铺平了道路，多晶也可以应用金刚线切片。单晶VS多晶，单晶略胜一筹
；　　图4、阿特斯湿法黑硅制绒技术四、电池环节单晶的转换效率高于多晶，但是目前P型多晶量产效率也即将突破20%，因此从性价比看，P型单晶还是不如P型多晶，但是N型单晶电池确实具备一定的优势。P型单晶因为

金刚线切片工艺，而多晶硅片目前已克服多晶金刚线硅片制绒技术难题。在金刚线切片技术上，单晶硅片已占有领先优势，但是阿特斯的湿法黑硅技术为金刚线线切在多晶切片领域的大面积推广铺平了道路，多晶也可以应用金刚线
切片。单晶VS多晶，单晶略胜一筹;　　　　图4、阿特斯湿法黑硅制绒技术　　四、电池环节　　单晶的转换效率高于多晶，但是目前P型多晶量产效率也即将突破20%，因此从性价比看，P型单晶还是不如P型多晶

划：2030年前让可再生能源发电占比提高至40%，政策利好 但土地政策等问题仍待解决，湿法黑硅技术 突破多晶硅电池效率限制，联合光伏2015年第三季度发电量同比大增50%，埃隆马斯克：美国光伏的希望的
太阳能热发电示范项目建设的通知 印度新规划：2030年前让可再生能源发电占比提高至40% 政策利好 但土地政策等问题仍待解决 湿法黑硅技术 突破多晶硅电池效率限制