非晶硅薄膜太阳能电池
金辰股份与晋能科技携手合作开发新型HJT PECVD工艺及电池技术。
近日，首台由金辰自主研发的异质结HJT太阳能电池PECVD非晶硅薄膜设备运抵晋能科技，正式开启了双方就进一步研究
开发基于异质结HJT太阳能电池新型PECVD的非晶硅薄膜工艺及电池技术的联合战略合作。
晋能科技是国内最早进行HJT电池研发和量产的龙头企业。自2015年至今，晋能科技技术团队已累积了丰富的
，知名度可能位居第二梯队，其业务范围很广从家电到电子元器件，但给人的印象不深，但三洋也在一些领域成为行业的开创者之一，如锂离子电池和HIT太阳能电池等。日本三洋电器集团是一家诞生于二次大战后美国控制、日本
行业大佬如京瓷、夏普等一起布局光伏产业。1975年，三洋选择从非晶硅太阳能光伏电池研发项目入手，开始布局光伏电池研发，与京瓷和夏普有所差异化竞争，三洋选择了非晶硅薄膜电池作为突破方向，这在当时是第二代
本竞争力不足，核心因素在于两方面：
1) 设备投资额度大，国产化进行仍在路上。由于HJT与目前主流的PERC产线不兼容，因此非晶硅薄膜沉积和TCO膜沉积等核心设备需要重新购置，投资额度相对较大，但
的耗用有望降低约 20-30mg/片，靶材成本有望持续下降。
2) 设备方面降本。HJT制作工艺流程大幅简化，制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应的制绒清洗
。此次规划的1GW异质结电池是目前全球异质结电池量产最大的一个项目，投产后也将是全球光伏行业大规模量产的转换效率最高的太阳能电池。
据悉，金堂基地1GW异质结项目将陆续完成工艺设备以及自动化设备的进场
任务，并进行定位、二次配等工作，各项介质也将陆续供应，确保项目在7月底顺利投产。
与其他电池技术相比较，HJT核心工艺只有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备4个步骤，加之HJT电池
沉积，就可制备太阳能电池面板。基本上分为：非晶硅薄膜电池、铜铟镓硒薄膜电池和碲化镉薄膜电池三种。 其中，非晶硅薄膜电池转换效率低，铜铟镓硒薄膜电池成本较高，所以First Solar选择了碲化镉薄膜
PERC电池为主，PERC电池市场占比达到86.4%。
1) Al-BSF电池技术。为改善太阳能电池效率，在P-N结制备完成后，在硅片的背光面沉积一层铝膜，制备P+层，称为铝背场电池。铝背层主要进行表面
两年多家公司进入试生产线环节 并加大 HJT 电池产业化的投资力度，HJT 电池技术迎来快速发展期。
HJT 电池，即非晶硅薄膜异质结电池，是由两种不同的半导体材料构成异质结。HJT 电池主要由 N
型单晶硅( C-Si )为衬底光吸收区,经过制绒清洗后,其正面依次沉积厚度为5-10nm的本征非晶硅薄膜(i-a-Si: H 和掺杂的 P 型非晶硅(P-a-Si: H ),和硅衬底形成 p-n
。同时由于 HJT 电池双面对称,正反面受光照后都能发电,可以做成双面发电组件。
(2)低温制造工艺。HJT 电池采用硅基薄膜工艺形成 p-n 结发射区,制程中的最高温度就是非晶硅薄膜的形成
开路电压，从而提高电池片的转换效率，平均转换效率比PERC电池高出约1%。HJT电池片工艺主要是制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备四大步骤。
HJT目前规划产能达70GW，越来越多企业投身
设备投资成本已经从2019年8-10亿元，降低至2020年的5亿元，2021年有望降低至4亿元左右。
TOPCon发展现状
TOPCon太阳能电池(隧穿氧化层钝化接触，Tunnel Oxide
数据来源：索比咨询整理
表：部分非晶硅薄膜沉积设备供应商
数据来源：索比咨询整理
表：部分TCO层沉积设备供应商
数据来源
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捷佳伟创
捷佳伟创是国内领先的晶体硅太阳能电池设备研发、生产和销售的国家高新技术企业。主要产品包括PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备
高效异质结太阳能电池及组件项目，预计分三期建设，每期2GW。
此外，在以上20家异质结投资企业中，不乏山煤国际、国家电投、彩虹集团、宝峰时尚等跨界玩家，这些跨界玩家在异质结领域均是
，通过验收7家，这代表着我国国产异质结设备逐渐成熟。
HJT技术前瞻
与其他电池技术相比较，HJT核心工艺只有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备4个步骤，加之HJT电池天然的对称结构使其
