钝化设备

，例如PECVD设备，PECVD全称为等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，实际是一种钝化/镀膜方式，可以用来沉积不同的
薄膜。在PERC中用来沉积SiNx薄膜与钝化AlOx薄膜，在TOPCon中用来钝化氧化硅薄膜与沉积本征多晶硅薄膜，在HJT中用来沉积非晶硅薄膜，因为沉积的薄膜不同，设备的构成、镀膜速度、投入等存在巨大

了设备新需求。 例如，在硅片环节，近些年光伏市场金刚线切割已取代了砂浆切割技术，设备更换为金刚线切片机;在电池环节，从传统的铝背场电池(AI-BSF)过渡到新一代常规技术发射极钝化和背面接触
受益于光伏产业链的大举扩产，一些设备铲子股迅速崛起并在资本市场上疯狂掘金。 在刚刚过去的2020年，碳中和目标落地，叠加高瓴资本入局，光伏无疑成为资本市场最火爆的板块之一。截至2020年12月30

，电池片厂商开始相继布局具有更高效率，更低衰退率，更高发电量的N型太阳能电池技术，例如隧穿氧化钝化接触电池(TOPCon)，异质结电池(HIT)和背接触电池(IBC)等。与此同时，设备厂商正在布局
PERC处于商业化探索阶段，以试验产能为主，产能放量较少;核心设备供应主要为海外厂商，产线投资成本较高。2015-2017年PERC平均转换效率由量产初期的20.4%提升至2017年的21.3%，电池非硅

2021年底量产有望达到24.8%-25%，叠层电池效率有望突破30%。HJT是十年长周期的好赛道。 HJT战略第一步：研制大产能CVD、PVD，实现整线设备国产化，打通整线工艺，降低CAPEX。迈为进入
2年内，关键设备产能增长3倍，单GW设备投资下降50%，当前1GW设备投资4.5亿不到。目前已实现了PECVD、PVD、印刷测试、自动化、BCS系统的自制，清洗制绒与YAC合作。印刷环节当前受限于浆料

温度场设计实现大面积薄膜沉积的均匀性和稳定性、良好的钝化效果和优异的薄膜性能。 PECVD5500主设备的腔体结构紧凑，载片板采用M6硅片1010布局;节拍完全满足当前高效率的工艺要求，镀膜高度调整带来
继引领高效和超高效HJT的TCO设备新型自主RPD系列之后，捷佳伟创历时一年精心打磨的具有完全自主知识产权的HJT关键工艺设备板式PECVD5500迎来了整备交付客户的日子，给生机蓬勃的光伏行业又

韩华专利ZL201080026335半导体设备和半导体设备制造方法和专利ZL200880124779用于制造具有表面钝化介电双层的太阳能电池的方法以及对应的太阳能电池的无效申请，中国国家知识产权局分别于

、丝网印刷和 光注入退火五个环节，对应设备分别为制绒清洗设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备和光固化炉。HJT 特殊的晶硅/非晶硅界面态钝化结构对工艺、设备、生产环境、操作

捷佳伟创(300724.SZ)目前是国内唯一一家具备PERC整线供应能力的企业，作为光伏电池片设备龙头企业公司在光伏电池PERC+、HJT工艺设备扩产方面走在前列。 此前四年捷佳伟创营收增长了6倍
，而今年受益于光伏装机再次掀起高潮，公司抓住机遇推出光伏电池新工艺生产设备，前三季度公司营收达到30.84亿元，同比增长70.94%，其中三季度营收11.91亿元，同比增长103.24%，净利润

Emitter and Rear Cell)是指发射极及背面钝化电池，是目前量产效率最高的单晶硅电池。 HJT电池的光电转换率高于PERC电池，且衰减率更低，其劣势在于成本偏高。今年以来，HJT电池的
各项成本已大幅下降，尤其是在设备投资方面。据SOLARZOOM 新能源智库统计，HJT相关设备在近一年里已完成国产化，总成本从去年11月的17亿元/GW，下降至4亿元/GW。 业界对HJT电池的