还原炉

，提炼要经过以下过程：石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。冶金级硅的提炼并不难。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。这样被还原出来的硅的纯度约98-99%，但半导体

硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。2、硅烷法硅烷热分解法硅烷是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等

的改善。就光伏全产业链而言，其西门子法多晶硅生产所用设备的国产化率最高，而且技术进步也相当明显。记得5年前，我国多晶硅产业刚刚起步时，其主要的工艺设备，如大型节能型还原炉、四氯化硅氢化炉、尾气干法回收

现代科学技术中不可缺少的基本材料。高纯度硅在石英中提取，以单晶硅为例，提炼要经过以下过程：石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。冶金级硅的提炼并不难。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原
石英砂而成。这样被还原出来的硅的纯度约98-99%，但半导体工业用硅还必须进行高度提纯(电子级多晶硅纯度要求11个9，太阳能电池级只要求6个9)。而在提纯过程中，有一项三氯氢硅还原法(西门子法)的关键技术

技术参数来看，这是西门子技术的一种变种。传统西门子反应炉中的气体是三氯氢硅，还原反应的温度较高。韩国供应商的反应炉气体采用的是硅烷，反应温度可以设置地相对较低，这大概是英利一直对外表示六九硅业采用的是“全球

。Beaulieu是美国GTAdvancedTechnologiesGTAdvancedTechnologies蓝宝石材料集团(以下简称GT)副总裁，国内晶硅厂家的多晶硅还原炉、氢化炉等设备基本由两家设备供应商

是美国GT Advanced TechnologiesGT Advanced Technologies蓝宝石材料集团(以下简称GT)副总裁，国内晶硅厂家的多晶硅还原炉、氢化炉等设备基本由两家设备供应商

。Beaulieu是美国GT Advanced TechnologiesGT Advanced Technologies蓝宝石材料集团（以下简称GT）副总裁，国内晶硅厂家的多晶硅还原炉、氢化炉等设备基本由

索比光伏网讯:十二五中国将重点发展光伏" title="光伏新闻专题"光伏生产专用设备：支持还原、氢化等多晶硅生产设备，大尺寸、低能耗、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割
机，硅片自动分选机等关键光伏生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和PECVD等薄膜太阳能光伏电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。

太阳能电池的多晶硅用量从2006年的11克/瓦下降到2010年的7-8克/瓦。5．生产设备不断取得突破，本土化水平不断提高国产单晶炉、多晶硅铸锭炉、开方机等设备逐步进入产业化，占据国内较大市场份额。晶硅
、产品质量和环保水平的同步提高，还原尾气中四氯化硅、氯化氢、氢气回收利用率不低于98.5%、99%、99%，到2015年平均综合电耗低于120度/公斤。单晶硅电池的产业化转换效率达到21%，多晶硅电池达到