背钝化

与分享。金辰集团陈晖博士进行了管式PECVD制备钝化发射极-背钝化接触高效太阳电池技术及装备的主题演讲，获得现场高度称赞。 美食来袭 逛逛吃吃 逛展是最消耗体力的，来过的小伙伴都知道，新

的一种，其具备成膜均匀性好、薄膜密度高、台阶覆盖性好、低温沉积等优点。2014年起，理想晶延开始布局高效光伏背钝化设备开发，采用国际先进的ALD(原子层沉积)技术，自主研发了氧化铝背钝化ALD设备

单晶替代多晶、P-PERC 替代常规单晶的技术迭代。其中常规单晶电池是铝背场电池，在硅片的背光面沉积一层铝膜;P-PERC 电池通过引入背钝化和开槽接触工艺，在电池背面形成背反射器，减少入射光损失

速。TOPCon(隧穿氧化钝化接触)、IBC(全背电极接触)、HJT(异质结)等技术将取得更大进步，更先进的技术将层出不穷。 天合梦，富家梦。平价上网是一个新开始，着眼于十四五以及更远的未来，户用光伏的好日子才刚刚开始。天合将以更高品质的原装光伏，引领分布式光伏的新未来。张兵说道。

的太阳光量，靠预测无法增加产量。因此，Q CELLS开发出"Q.ANTUM"，利用减少光电转化过程里产生的损失加大发电量。Q.ANTUM技术在太阳能电池背面适用了背钝化技术(PERC，Passive
Emitter Rear Contact)。 背钝化技术就是在太阳能电池背面安装镜面结构，其并不使太阳能发电，只捕获已经穿过的光线令其反射到镜面，使通过镜面反射出来的光线重新被太阳能电池吸收，用于

角度，也存在两方面的因素。 1) PERC 电池仍具备降本提效的空间，间接提高异质结电池的机会成本。虽然 PERC 技 术面临效率瓶颈的压力，但是通过相关技术叠加，如背钝化、LDSE、FLDP
领域应用较为广泛，工艺比较成熟，成本相对较低。相比 PVD 技术，虽然 RPD 工艺成本较高，但采用 RPD 技术可使效率提高大约 0.3-0.5%。参考 PERC电池的背钝化工艺逐步从 PECVD

于电池背表面，由于同时有P，N两种扩散，理想的钝化膜则是能同时钝化P,N两种扩散界面，二氧化硅是一个较理想的选择。如果背面Emitter/P+硅占的比例较大，带负电的薄膜如AlOx也是一个不错的选择

。 3.2实验研究内容 实验研究背钝化技术在激光开槽过程中激光设备各项参数等对电池性能的影响，主要研究内容为： 1. 不同激光功率对电池片性能的影响。实验根据激光器固定参数设定不同的输出功率，以研究
激光开槽是利用激光在硅片背面进行打孔或开槽，将部分AL2O3与SiNx薄膜层打穿露出硅基体，背电场通过薄膜上的孔或槽与硅基体实现接触。 1.3激光加工过程 1. 通过热激发或光激发产生导

太阳能电池以及PVD工艺高转化率硅片太阳能电池，其中硅片涂覆型太阳能电池的生产不使用溅射靶材，目前靶材主要用于太阳能薄膜电池领域，而HIT作为PERC(钝化发射极及背局域接触电池)未来的替代技术，有望实现
在效率方面的优良表现，对传统铝背场电池形成了快速替代。2019年新建电池片产线均采用PERC技术，叠加老线技改，使得PERC电池市场占比迅速提升至65%。 根据Pvinfolink的预测数据，未来3

来具体实现，例如量产平均效率由18%到19%通过管式热氧钝化及退火工艺实现;由19%到20%通过PERC背钝化技术实现，由20%到21%通过LDSE (Laser-Doping
Selective-emitter)激光掺杂选择性射极技术实现，由21%到22%通过MBB与钝化技术实现增效降本。此次，正泰新能源通过导入SuperPERC+单晶高效双面电池技术实现23%+量产效率，意义非凡