背钝化技术

，适用于较薄的硅片，通常使用SF6/O2混合气体，在蚀刻过程中，F自由基对硅进行化学蚀刻形成可挥发的SiF4，O自由基形成SixOyFz对侧墙进行钝化处理，形成绒面结构。目前韩国周星公司应用该技术的设备可
索比光伏网讯:(1) 光陷阱结构。一般高效单晶硅电池采用化学腐蚀制绒技术，制得绒面的反射率可达到10%以下。目前较为先进的制绒技术是反应等离子蚀刻技术(RIE)，该技术的优点是和晶硅的晶向无关

高质量单晶硅材料和相关的成热的加工处理工艺基础上的。现在单晶硅的电地工艺己近成熟，在电池制作中，一般都采用表面织构化、发射区钝化、分区掺杂等技术，开发的电池主要有平面单晶硅电池和刻槽埋栅电极单晶硅电池
，硅是最理想的太阳能电池材料，这也是太阳能光伏电池以硅材料为主的主要原因。但随着新材料的不断开发和相关技术的发展，以其它村料为基础的太阳能光伏电池也愈来愈显示出诱人的前景。本文简要地综述了太阳能光伏

加工处理工艺基础上的。现在单晶硅的电地工艺己近成熟，在电池制作中，一般都采用表面织构化、发射区钝化、分区掺杂等技术，开发的电池主要有平面单晶硅电池和刻槽埋栅电极单晶硅电池。提高转化效率主要是*单晶硅
表面微结构处理和分区掺杂工艺。在此方面，德国夫朗霍费费莱堡太阳能系统研究所保持着世界领先水平。该研究所采用光刻照相技术将电池表面织构化，制成倒金字塔结构。并在表面把一13nm。厚的氧化物钝化层与两层减

平均效率可超过19.5%，其最高效率甚至可达19.8%。这些数字再一次证实了我们的技术处于领先地位。Centaurus技术将单步选择性发射极技术和铝背场，背表面钝化技术结合在了一起。和当前行业标准的

选择性发射极技术和铝背场，背表面钝化技术结合在了一起。和当前行业标准的丝网印刷铝背场的太阳能电池相比，centaurus电池大大降低了背表面复合速率，同时增大了Voc超过10mV。另外，还改善了长波长光的

接触电池，交叉背结电池等等。即使新增的工艺流程改变也是一个挑战：将衬底从p型换成n型，背面钝化，电镀，离子注入等。目前已被大规模生产证明的高效电池设计只有SunPower的背结电池和松下/三洋的异质结

的差异：选择性发射极，wrap-through背接触电池，交叉背结电池等等。即使新增的工艺流程改变也是一个挑战：将衬底从p型换成n型，背面钝化，电镀，离子注入等。目前已被大规模生产证明的高效电池设计

，wrap-through背接触电池，交叉背结电池等等。即使新增的工艺流程改变也是一个挑战：将衬底从p型换成n型，背面钝化，电镀，离子注入等。目前已被大规模生产证明的高效电池设计只有SunPower的背结电池和松下/三洋的

电池，交叉背结电池等等。即使新增的工艺流程改变也是一个挑战：将衬底从p型换成n型，背面钝化，电镀，离子注入等。 目前已被大规模生产证明的高效电池设计只有SunPower的背结电池和松下/三洋的异质结

。CELCO太阳能电池结合旭泓创新的工艺及先进的背面钝化及局部背电场技术，量产线上最高转换效率已达20.2%，相较于旭泓去年19.4%的纪录，今年可以说是大跃进！CELCO太阳能电池的重要优势就是大幅度增强