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氢氧化钾(KOH)溶液沿着多晶硅平面刻蚀硅,在其表面制作出微米级的金字塔结构。然后采用电子束工艺将纳米级的金颗粒涂布在金字塔结构上。再利用氟化氢(HF)和双氧水(H2O2)溶液,金作为催化剂,进行金属辅助