纯度

%)、Al2O3(0.5%)、GaO(0.5%)和Si3N4涂层;而CZ-Si拉晶过程中采用石英玻璃坩埚，其主要化学成分是单一高纯度的SiO2(100%)，并且采用高纯SiO2作为涂层材料。 陶瓷坩埚本身的

多晶硅行业来说，中国的多晶硅企业是一支不折不扣的新军，但是，通过持续的科技创新和工艺革新，中国多晶硅企业逐步提升多晶硅产品纯度，降低生产成本，仅用短短十余年时间，就走完了国外多晶硅巨头几十年的发展道路

需求。对于全球多晶硅行业来说，中国的多晶硅企业是一支不折不扣的新军，但是，通过持续的科技创新和工艺革新，中国多晶硅企业逐步提升多晶硅产品纯度，降低生产成本，仅用短短十余年时间，就走完了国外多晶硅巨头

多晶硅的环节，主要在两个化学反应过程中产生，一是金属硅(低纯度多晶硅)转化成三氯氢硅的过程；二是三氯氢硅高温热分解为高纯多晶硅的过程。产生的四氯化硅经过收集和提纯，通过冷氢化反应或热氢化反应转化为三氯
影响，降低生产成本及资源消耗量，光伏行业现已经实现废砂浆的回收再利用。切割的废砂浆直接流到收集缸，取出后由处理工厂回收处理，回收出纯度合格的聚乙二醇、碳化硅、甚至硅粉。回收出来的聚乙二醇和碳化硅可以用

产生于西门子法提纯多晶硅的环节，主要在两个化学反应过程中产生，一是金属硅(低纯度多晶硅)转化成三氯氢硅的过程;二是三氯氢硅高温热分解为高纯多晶硅的过程。产生的四氯化硅经过收集和提纯，通过冷氢化反应或热
降低废弃物对环境的影响，降低生产成本及资源消耗量，光伏行业现已经实现废砂浆的回收再利用。切割的废砂浆直接流到收集缸，取出后由处理工厂回收处理，回收出纯度合格的聚乙二醇、碳化硅、甚至硅粉。回收出来的

因素。单晶硅原子排列有序晶界少、杂质少纯度更高，少子寿命较高，转化率更高；单晶组件年均衰减率低，约0.36%~0.47%，按照25年的生命周期，单晶比多晶组件保证多3.8%的转换率，实测数据每瓦高5

该专题文章明确地提出利用乙硅烷热分解法可以生产出高纯度、超大直径多晶硅棒新工艺、新设备的设想，该设想是本人经多年查阅并收集有关乙硅烷资料，经充分研究和比较确定的，也是当今国内首次提出利用乙硅烷热分解
。所以本工艺利用Si2H6热分解生产高纯度、超大直径多晶硅棒以及尾气回收系统都是创新的生产工艺。 除上述两项创新设计外，其他设备，如浮动式氯化炉、钟罩式热分解炉等都具有新创意其共同特点：设备结构设计

该专题文章明确地提出利用乙硅烷热分解法可以生产出高纯度、超大直径多晶硅棒新工艺、新设备的设想，该设想是本人经多年查阅并收集有关乙硅烷资料，经充分研究和比较确定的，也是当今国内首次提出利用乙硅烷热分解
尾气回收系统三者结合运作才能实现。所以本工艺利用Si2H6热分解生产高纯度、超大直径多晶硅棒以及尾气回收系统都是创新的生产工艺。除上述两项创新设计外，其他设备，如浮动式氯化炉、钟罩式热分解炉等都具有