等离子体

我们新开发C.NITEInline设备，是将我们具有多年实践经验的管式PECVD的优点和连续在线生产的创新技术完美结合。通过使用等离子体沉积实现了最长正常运行时间和最佳整体性能。此外，与市场中其他类型的

索比光伏网讯:众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。其中非晶硅电池具有极高的光吸收系数，且容易大规模生产，是目前较为

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。其中非晶硅电池具有极高的光吸收系数，且容易大规模生产，是目前较为普遍的硅基薄膜

。这种所谓的等离子体纳米结构显著增强了能被石墨烯感应的光电场，并能有效地将光集中在石墨烯上，将石墨烯的聚光性能提高了20倍，而且其数据处理速度没有受到丝毫影响。该研究团队的主要成员、等离子体专家亚历山大
格里高仁科表示，石墨烯似乎是等离子体的天然伙伴，他们希望等离子体纳米结构能改进石墨烯设备的性能，现在他们不仅做到了，而且结果超乎想象，其聚光效率还可进一步提高。该研究的另一名参与者、剑桥大学工程系科学家

——等离子体增强型化学气相沉积设备就在张江高科技园区的理想能源设备公司成功下线，这被视为中国在新能源高端装备领域取得的“零的突破”，结束了我国薄膜太阳能制造设备全部依赖巨额进口的历史。而由上海曙海太阳能

设备企业蓄势待发的良好势头，光伏设备国产化之路成为了浦东高端发展新能源产业的方向和亮点。　　如今年1月，中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备就在张江高科技

。这种所谓的等离子体纳米结构显著增强了能被石墨烯感应的光电场，并能有效地将光集中在石墨烯上，将石墨烯的聚光性能提高了20倍，而且其数据处理速度没有受到丝毫影响。该研究团队的主要成员、等离子体
专家亚历山大-格里高仁科表示，石墨烯似乎是等离子体的天然伙伴，他们希望等离子体纳米结构能改进石墨烯设备的性能，现在他们不仅做到了，而且结果超乎想象，其聚光效率还可进一步提高。该研究的另一名参与者、剑桥大学

索比光伏网讯:众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。其中非晶硅电池具有极高的光吸收系数，且容易大规模生产，是目前较为

两个表面同时进行清洗、干燥。首先磁控溅射沉积金属和金属氧化层，以增强衬底的反射率。然后采用等离子体化学气相沉积法(PECVD)沉积非晶硅层，以形成叠层太阳电池结构，这是整个制造过程中最关键的工艺步骤

性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前
方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好。预计会很快成为新型的光伏TCO产品。目前主要存在的问题是工业化大面积