等离子体

反应的气体增加，到达基片表面的反应产物增多，同时压强适当提高，反应室内的等离子体密度增大，反应气体中活性粒子增多，从而得到高沉积速率、高质量的非晶硅薄膜。但当工作压强进一步上升到较高值时，等离子体密度
)。聚合物(黄色粉末)，从而大大降低了a-Si：H薄膜的质量。此外，当气压过高时，氢等离子体的刻蚀变得更加活跃，使得SiH2结构的基团增多，SiH2基团的增多意味着有更多的晶界和微孔，它们都是类似于

研发制造的国内首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备，在去年成功下线后已实现产业化，并因其质优价廉特性而赢得国内企业追捧，目前已经销售出8台。福建钧石能源有限公司

中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室在有关项目的支持下，发展了量子点敏化太阳电池中量子点制备的新方法。该研究结果于2012年2月24日发表在英国化学会《化学通讯》（DOI

索比光伏网讯:中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室在有关项目的支持下，发展了量子点敏化太阳电池中量子点制备的新方法。该研究结果于2012年2月24日发表在英国化学会《化学通讯》(DOI

/c-Si界面质量，不断降低缺陷态密度。2.优化光陷，降低反射率。3.提高透明导电膜的电导率，透射率。4.降低金属栅线的接触电阻。光伏技术：PECVD技术难点1.等离子体的不稳定性。等离子体的稳定性是
一个复杂的问题。等离子体本身是由电子、离子等带电电荷组成的准中性气体,因此,它的状态容易受到外界条件的影响而发生变化。衬底表面的带电状态、反应器壁的薄膜附着、电源的波动、气体的流速等都会改变等离子体的

水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备，在去年成功下线后已实现产业化，并因其质优价廉特性而赢得国内企业追捧，目前已经销售出8台。 　　福建钧石能源有限公司也带来了其新近研发

索比光伏网讯:概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。本章将着重阐述镀膜设备等离子体增强化学气相沉积
基材性能发生改变，甚至某些相对低熔点的合金基材：如(Al合金)无法涂覆，而PECVD在很大程度上改进了CVD的这些缺点。PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上

中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室通过对有机金属螯合物作为量子点敏化剂前驱体的可能性的研究，发展了量子点敏化太阳电池（QDSCs）中量子点制备的新方法。该项目以中国科学院新型薄膜

，然后烧结可以使N型层返回到P型。去周边用激光切割的方法或等离子体刻蚀法。激光切割可以在太阳电池电极印刷和烧结结束后进行。激光切割去周边时必须把激光束照在背电极上，而且不能让激光把硅片击穿，必须控制好激光
的强度和运行速度，才能做到去周边时对太阳电池的P-N结无影响。等离子体刻蚀法是目前在太阳电池制造业中应用得最多的一种方法，利用高频辉光放电手段将CF4离解成活性原子和自由基，各种游离基中F原子为主要的

索比光伏网讯:中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室通过对有机金属螯合物作为量子点敏化剂前驱体的可能性的研究，发展了量子点敏化太阳电池(QDSCs)中量子点制备的新方法。该项目以