等离子体
等离子体精密涂覆生产线和多台先进分析检测仪器及10万级净化车间。与上海交通大学太阳能研究所、晨光化工研究院、国家教育部有机硅(杭州)重点实验室等国内知名高校、科研院所展开长期技术合作，并与美国
摘 要
本文展示了一种基于流延切线卷涂技术和等离子技术而设计制造的光伏组件专用膜胶一体化背板。背板以PET为基材，经等离子体表面刻蚀和活化后，双面涂以特殊研制的反应性功能氟碳涂料，经热固化后
得到具有聚氨酯结构的膜胶一体化背板。最后，通过等离子体增强化学沉积技术在涂层表面共价接枝一单分子短链硅烷层，从而赋予背板中等表面能，使之与EVA具有长期的绝佳粘合性。扫描电镜（SEM）显示，等离子体
表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法》、《光伏电池用硅材料补偿度测量方法》、《光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法》、《光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的
称，该四项标准为《光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法》、《光伏电池用硅材料补偿度测量方法》、《光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法》、《光伏电池用
有限公司（以下简称环欧公司）与信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院等单位共同起草、制定的《ink"光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法》、《光伏电池用硅材料
实施。标准如下：国家标准编号国家标准名称实施日期GB/T 29849-2013光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法2014-04-15GB/T 29850-2013http
扩散炉和等离子体刻蚀机，以光伏装备作为推动企业进入市场的突破口，在创新开拓的道路上迈出了第一步。无心插柳的转型，让48所成为国内最早从事光伏装备研发生产的单位。但在48所投身光伏产业之后的相当一段时间
转变。2001年，48所凭借在半导体装备领域的深厚积淀，推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，以光伏装备作为推动企业进入市场的突破口，在创新开拓的道路上迈出了第一步。 无心插柳的转型，让48所成为国内
部分后，将硅锭粗粉碎并清洗，并在等离子体熔解炉中去除硼杂质，然后二次区熔单向凝固成硅锭，再次除去外表部分和金属杂质聚集的部分然后粗粉碎和清洗，最后在电子束熔解炉中除去磷和碳杂质直接生成太阳能级多晶硅
，用射频电源加热，使硅烷电离，形成等离子体。非晶硅膜就沉积在被加热的衬底上。若硅烷中掺人适量的氢化磷或氢化硼，即可得到N型或P型的非晶硅膜。衬底材料一般用玻璃或不锈钢板。这种制备非晶硅薄膜的工艺，主要
电源加热，使硅烷电离，形成等离子体。非晶硅膜就沉积在被加热的衬底上。若硅烷中掺人适量的氢化磷或氢化硼，即可得到N型或P型的非晶硅膜。衬底材料一般用玻璃或不锈钢板。这种制备非晶硅薄膜的工艺，主要取决于
